[发明专利]一种Cr靶材的修复方法有效

专利信息
申请号: 201810125916.8 申请日: 2018-02-08
公开(公告)号: CN108274009B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 张久兴;高思远;许兵;韩翠柳;杨新宇 申请(专利权)人: 合肥工业大学
主分类号: B22F7/06 分类号: B22F7/06;B22F3/105;C23C14/35
代理公司: 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 代理人: 卢敏
地址: 230009 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种Cr靶材的修复方法,其是将待修复的Cr靶材放入石墨模具中,然后加入修复所需的Cr粉,使Cr粉位于Cr靶材的待修复表面上,预压后,再放入放电等离子烧结系统中进行烧结连接,使Cr粉填充在Cr靶材待修复表面的不平整缺陷区域,即完成Cr靶材的修复。本发明采用SPS技术,通过选择合适的烧结参数,可将Cr靶材表面的缺陷修补完整,且修补后组织细小、致密度高、拉伸性能与原靶材一致,有效解决了现有Cr靶材表面产生缺陷后无法修补再利用的问题,且工艺简单、周期短、生产效率高,可大幅度降低Cr靶材的使用成本。
搜索关键词: 一种 cr 修复 方法
【主权项】:
1.一种Cr靶材的修复方法,其特征在于:将待修复的Cr靶材放入石墨模具中,然后加入修复所需的Cr粉,使Cr粉位于Cr靶材的待修复表面上,预压后,再放入放电等离子烧结系统中进行烧结连接,使Cr粉填充在Cr靶材待修复表面的不平整缺陷区域,即完成Cr靶材的修复。
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