[发明专利]一种测试加载晶圆盒的方法

摘要

本发明涉及一种测试加载晶圆盒的方法，通过将探针台的搁置晶圆盒区域增加到两个，在测试一个晶圆盒里的晶圆时，可以对另一个晶圆盒进行更换动作，不会影响到正在测试的那个晶圆盒；另外测完的晶圆可以在搁置区放置一段时间，一旦需要复测，直接加载这个晶圆盒即可，节省再更换时间。从而达到测试不间断的目的，保证了测试连贯性，提高了生产效率。

主权项

1.一种测试加载晶圆盒的方法，探针台上分测试区域和搁置晶圆盒的区域，晶圆盒从搁置晶圆盒区域内下移到固定位置，并通过里面的机械托盘将晶圆放置到晶圆测试区域内，进行测试，其特征在于，有两个搁置区域A和B，初始两个晶圆盒A和B分别放置在晶圆盒搁置区域A和晶圆盒搁置区域B同时待测；探针台如选择晶圆盒A先进行测试，则晶圆盒A下沉后进入测试区域进行测试，晶圆盒B停留在晶圆盒搁置区域B内，当晶圆盒A里的晶圆全部完成测试后，晶圆盒A放回晶圆盒搁置区域A，晶圆盒搁置区域B内的晶圆盒B进入测试区域进行测试，当工程师确认晶圆盒A测试数据无异常后，移走晶圆盒A，更换晶圆盒C到搁置区域A内待测；当晶圆盒B里的晶圆全部完成测试后，将晶圆盒B放回搁置区域B，等待工程师确认晶圆盒B测试数据，同时直接加载晶圆盒C进入测试区继续测试；一旦工程师发现晶圆盒B测试数据异常，先将当前测试的晶圆盒退出到原来位置，加载之前保留在探针台里的已测晶圆盒进行复测，复测完后继续返回原搁置位置，等待工程确认复测数据，如复测数据与上次测试相同，判断数据无误，如数据有差别，那再次进行第2次复测，直到确定测试数据无误，数据无误后所搁置的区域更换晶圆盒。