[发明专利]一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法有效
| 申请号： | 201810128938.X | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108168734B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | 刘玮书;张双猛;胡继真;刘勇 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01K13/00 | 分类号： | G01K13/00;G01K7/02;G01K1/16;G01K1/08 |
| 代理公司： | 44350 深圳青年人专利商标代理有限公司 | 代理人： | 傅俏梅 |
| 地址： | 518000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及柔性传感器技术领域，提供一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤及其制备方法，柔性电子皮肤包括温度传感单元、置于温度传感单元上的传热单元以及将温度传感单元及传热单元封装于一体的封装层，所述温度传感单元包括柔性基底、由下至上依次沉积于所述柔性基底上的绝缘层、过渡层、多个薄膜热电堆以及绝热保护层，所述传热单元包括多个分别固定于各所述薄膜热电堆的传热区域上并伸出所述绝热保护层及所述封装层外的传热纤毛。本发明中，柔性电子皮肤结构简单，一体封装成型，便于集成化制备；且制作形成的电子皮肤柔性、弹性好，满足多种应用需求；同时，采用纤毛进行温度传感灵敏度高，精度准确，测温响应时间短，温度测量范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 温度传感单元 柔性电子 纤毛 传热单元 温度传感 制备 薄膜热电堆 隔热保护层 柔性基底 皮肤 封装层 绝缘层 一体封装成型 柔性传感器 传热区域 皮肤结构 皮肤柔性 温度测量 应用需求 传热 过渡层 集成化 灵敏度 测温 沉积 封装 伸出 响应 制作 | ||
【主权项】：
1.一种基于纤毛温度传感的柔性电子皮肤，包括温度传感单元、置于所述温度传感单元上的传热单元以及将所述温度传感单元及所述传热单元封装于一体的封装层，其特征在于：所述温度传感单元包括柔性基底、由下至上依次沉积于所述柔性基底上的绝缘层、过渡层、多个薄膜热电堆以及绝热保护层，所述传热单元包括多个分别固定于各所述薄膜热电堆的传热区域上并伸出所述绝热保护层及所述封装层外的传热纤毛。/n
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