[发明专利]一种飞秒激光薄膜微群孔制造方法有效
| 申请号： | 201810130219.1 | 申请日： | 2018-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN108326451B | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 李明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B23K26/70;B23K26/06;B23K26/067 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出了一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法，在对薄膜，尤其是热控薄膜加热时，提供一对射式激光定位传感器，在热控薄膜上冲击出一排基准孔，以上述基准孔为引导孔，通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置，聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动，当定位于热控薄膜边缘第一孔位后，飞秒激光开启，激光束经由振镜形成扫描光束，所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜，经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜，由上述振镜旋转作用形成所述激光束旋切冲孔，超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后，直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。 | ||
| 搜索关键词： | 热控薄膜 薄膜 飞秒激光 聚焦镜 扫描光束 反射镜 基准孔 激光束 群孔 振镜 照射 激光定位传感器 往复平移运动 直线电机驱动 光化学作用 超快激光 打孔位置 高效制造 信号传递 旋转作用 传感器 单光子 碳氮键 碳碳键 旋切式 引导孔 冲孔 孔位 宽幅 下沿 旋切 加热 聚焦 分解 输出 制造 | ||
【主权项】：
1.一种飞秒激光薄膜微群孔运动旋切式制造方法，用于加工环地球卫星轨道有效载荷装置的热控薄膜,其包括以下步骤：提供一对射式激光定位传感器，所述传感器具有发射端与接收端，所述发射端与接收端位于所述热控薄膜原子层异位空间且相对冲孔位置沿薄膜传递方向的下游；在热控薄膜上冲击出一排基准孔；以上述基准孔为引导孔，通过上述传感器输出的信号传递给控制单元控制薄膜打孔位置；聚焦镜和反射镜在直线电机驱动下沿所述热控薄膜宽幅方向往复平移运动，当定位于热控薄膜边缘第一孔位后，飞秒激光开启，激光束经由振镜形成扫描光束；所述扫描光束经过所述反射镜到达所述聚焦镜，经聚焦镜聚焦后照射至所述热控薄膜，由上述振镜旋转作用形成激光束旋切冲孔；超快激光单光子照射至所述热控薄膜表面后，直接将碳碳键和碳氮键通过光化学作用分解。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所，未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810130219.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：激光加工机
- 下一篇：复合夹具及其使用方法
