[发明专利]一种在光波导上制备凹面镜的方法有效
| 申请号： | 201810132424.1 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108303767B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 黄怿;邓传鲁;王廷云 | 申请（专利权）人： | 苏州德睿电力科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/136 | 分类号： | G02B6/136;G02B6/13 |
| 代理公司： | 32261 苏州润桐嘉业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 韦宇昕 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在光波导上制备凹面镜的方法。该方法包括以下步骤：步骤1，采用v型金刚石刀切割光波导成v型槽，所用v型槽的一面为45°倾斜面，一面为垂直面；步骤2，采用准分子激光器紧邻v型槽的垂直面为一边，刻蚀立方体槽，所述立方体槽宽度为v型槽深度的2/3‑1倍，深度与v型槽深度相同；步骤3，将板件倾斜放置，使得v型槽的倾斜面呈水平状，采用二氧化碳激光器对v型槽的倾斜面进行热加工，使得倾斜面烧蚀成凹面；步骤4，在凹面镀高反射膜形成凹面镜。该方法在金刚石刀制备45°斜面的基础上，进一步地采用二氧化碳激光器对倾斜面进行热加工，由于热加工机理，加工过程具有热退火效用，能够获得粗糙度较低的反射凹面镜。 | ||
| 搜索关键词： | 倾斜面 热加工 凹面镜 光波导 制备 二氧化碳激光器 金刚石刀 立方体槽 垂直面 凹面 准分子激光器 镀高反射膜 反射凹面镜 倾斜放置 粗糙度 热退火 水平状 板件 刻蚀 烧蚀 切割 | ||
【主权项】：
1.一种在光波导上制备凹面镜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，采用v型金刚石刀切割聚合物光波导或无机材料光波导成v型槽，所用v型的一面为45°倾斜面，一面为垂直面；步骤2，采用准分子激光器紧邻v型槽的垂直面为一边，刻蚀立方体槽，所述立方体槽宽度为v型槽深度的2/3-1倍，深度与v型槽深度相同；步骤3，将板件倾斜放置，使得v型槽的倾斜面呈水平状，采用二氧化碳激光器对v型槽的倾斜面进行热加工，使得倾斜面烧蚀成凹面；步骤4，在凹面镀高反射膜形成凹面镜。/n
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