[发明专利]一种扫描电子显微镜物镜系统及样品探测方法在审
| 申请号： | 201810134652.2 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108231511A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/12 | 分类号： | H01J37/12;H01J37/141;H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描电子显微镜物镜系统，包括：磁透镜、偏转装置、偏转控制电极、待测样品以及探测装置；其中，所述磁透镜的极靴方向朝向所述待测样品；所述偏转装置，位于所述磁透镜内部，包括至少一个子偏转器；所述偏转控制电极，位于所述探测装置与所述待测样品之间，用于改变作用于所述待测样品上的初始电子束的方向，以及改变所述初始电子束作用于所述待测样品产生的信号电子的方向；所述探测装置，包括用于接收所述信号电子中的背散射电子的第一子探测器，和用于接收所述信号电子中的二次电子的第二子探测器。本发明还公开了一种样品探测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 待测样品 探测装置 信号电子 磁透镜 扫描电子显微镜 偏转控制 偏转装置 物镜系统 电极 探测器 探测 电子束 电子束作用 二次电子 背散射 偏转器 极靴 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微镜物镜系统，其特征在于，包括：磁透镜、偏转装置、偏转控制电极、待测样品以及探测装置；其中，所述磁透镜的极靴方向朝向所述待测样品；所述偏转装置，位于所述磁透镜内部，包括至少一个子偏转器；所述偏转控制电极，位于所述探测装置与所述待测样品之间，用于改变作用于所述待测样品上的初始电子束的方向，以及改变所述初始电子束作用于所述待测样品产生的信号电子的方向；所述探测装置，包括用于接收所述信号电子中的背散射电子的第一子探测器，和用于接收所述信号电子中的二次电子的第二子探测器。
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