[发明专利]硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法在审
申请号: | 201810135530.5 | 申请日: | 2018-02-09 |
公开(公告)号: | CN110126107A | 公开(公告)日: | 2019-08-16 |
发明(设计)人: | 卢建伟;潘雪明 | 申请(专利权)人: | 浙江集英精密机器有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 33100 | 代理人: | 王丽丹 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本申请公开一种硅棒转换装置、硅棒开方设备及硅棒开方方法,该硅棒开方设备包括硅棒转换装置和线切割装置,其中,利用硅棒转换装置可将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以供线切割装置对位于切割区的待切割硅棒进行开方切割,以及利用硅棒转换装置可将已开方硅棒由切割区转换至等待区以供将已开方硅棒予以卸料,将承载的待切割硅棒由等待区转换至切割区以及将已开方硅棒由切割区转换至等待区可利用硅棒转换装置在一次转换运动中同时完成,如此,可实现硅棒的快速且便捷地转换,提高了硅棒的开方切割作业效率。 | ||
搜索关键词: | 硅棒 开方 转换装置 切割区 等待区 切割 转换 线切割装置 承载 一次转换 作业效率 卸料 申请 | ||
【主权项】:
1.一种硅棒开方设备,其特征在于,包括:硅棒转换装置,包括:转换工作台,设有至少一第一硅棒承载台和至少一第二硅棒承载台;转换驱动机构,用于驱动所述转换工作台作转换运动以令所述至少一第一硅棒承载台和所述至少一第二硅棒承载台在等待区和切割区之间转换;以及线切割装置,设有与切割区对应的至少一线切割单元;所述至少一线切割单元用于对所述硅棒转换装置中对应于切割区的至少一第一硅棒承载台或至少一第二硅棒承载台所承载的待切割硅棒进行开方切割。
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