[发明专利]移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法有效
| 申请号： | 201810136770.7 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108249746B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 申鸿达;邓俊能;邓涛;楚正勇 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/03 | 分类号： | C03B33/03 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种移载基台及采用该移载基台切割基板的切割方法，该移载基台包括基台本体，所述基台本体的各气孔位置设置有气密保护部件、气管和第一连接部件；所述气管通过所述第一连接部件固定在所述基台本体的气孔位置；所述气密保护部件固定在所述基台本体的气孔壁与所述气管的外壁之间。由于气密保护部件、气管和第一连接部件的设置能够实现气浮状态时气体流动方向相同，使基板切割时从真空吸附状态切换为气浮状态时，基板与基台本体摩擦方向相同，有效的避免了基板因摩擦力方向不同造成的晃动而发生偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 移载基台 采用 切割 方法 | ||
【主权项】：
1.一种移载基台，用于切割基板，其特征在于，包括基台本体，所述基台本体的各气孔位置设置有气密保护部件、气管和第一连接部件；所述气管通过所述第一连接部件固定在所述基台本体的气孔位置；所述气密保护部件固定在所述基台本体的气孔壁与所述气管的外壁之间。
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