[发明专利]一种化学抛光液及化学抛光工艺有效
| 申请号： | 201810137423.6 | 申请日： | 2018-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN108315739B | 公开（公告）日： | 2019-03-22 |
| 发明（设计）人： | 徐艳春;唐明松 | 申请（专利权）人： | 深圳市祥盛兴科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/06 | 分类号： | C23F3/06 |
| 代理公司： | 广州胜沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人： | 张帅 |
| 地址： | 518100 广东省深圳市宝*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于铜材抛光技术领域，具体涉及一种化学抛光液及化学抛光工艺。本发明提供的化学抛光液，包括以下组分及其质量浓度：密度为1.84g/cm3的硫酸30～45mL·L‑1，双氧水200～350mL·L‑1，络合剂1～2g/L，表面活性剂0.05～0.2g·L‑1，铁盐1～2g·L‑1，双氧水稳定剂0.3～0.6g·L‑1。本发明提供的化学抛光液不含硝酸、磷酸，无毒、无污染。使用本发明的化学抛光液对金属表面进行化学抛光得到的化学抛光面光亮度高、表面平整，可达到镜面抛光效果。另外，本发明提供的化学抛光工艺的工艺流程简单，操作方便。 | ||
| 搜索关键词： | 化学抛光液 化学抛光工艺 化学抛光 双氧水 抛光技术领域 双氧水稳定剂 表面活性剂 表面平整 金属表面 镜面抛光 工艺流程 络合剂 硝酸 磷酸 铁盐 铜材 硫酸 无毒 | ||
【主权项】：
1.一种化学抛光液，其特征在于，包括以下组分及其质量浓度：密度为1.84g/cm3的硫酸30～45mL·L‑1，双氧水200～350mL·L‑1，络合剂1～2g/L，表面活性剂0.05～0.2g·L‑1，铁盐1～2g·L‑1，双氧水稳定剂0.3～0.6g·L‑1；所述表面活性剂由聚乙二醇、烷基酚聚氧乙烯醚和十三烷醇聚醚‑4‑羧酸钠按质量比12‑15：7‑9：3‑5组成；所述双氧水稳定剂由尿素和酒石酸按质量比4‑6：1‑3组成。
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