[发明专利]一种可实现正面侧面同时观测的微流控芯片及制备方法有效

专利信息
申请号: 201810138013.3 申请日: 2018-02-10
公开(公告)号: CN108393102B 公开(公告)日: 2019-11-22
发明(设计)人: 申峰;薛森;刘赵淼;徐旻 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 11203 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人: 沈波<国际申请>=<国际公布>=<进入国
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种可实现正面侧面同时观测的微流控芯片及制备方法,本发明对传统PDMS芯片加工工艺进行改进,在其内部添加一个45o反射镜,采用上下两层模板先后浇铸的方式,避免上下两层模型键合粘接形成的键合面对通道侧面观测的影响。通道凸模前处理;安放三棱镜;一次PDMS浇铸;键合盖板;黏贴矩形反射镜片;二次PDMS浇铸;芯片切割;观测;该工艺可加工出既可实现传统正面观测又可实现侧面观测的PDMS微流控芯片,满足同一芯片对微流控通道三维可视化研究的需求。该发明采用液态PDMS溶液先后两次浇铸,可使加工出的芯片模型没有中间键合面,正面和侧面的透明度极高,避免了传统上下两层键合面对侧面观测的影响。
搜索关键词: 观测 侧面 键合 浇铸 微流控芯片 上下两层 制备 三维可视化 微流控通道 反射镜片 芯片模型 芯片切割 正面观测 盖板 反射镜 键合面 前处理 三棱镜 凸模 粘接 加工 芯片 透明度 改进 研究
【主权项】:
1.一种可实现正面侧面同时观测的微流控芯片的制备方法,其特征在于:/n第一步:通道凸模前处理;/n通过光刻法在光滑的硅片(3)上加工出需要的微通道凸模(1),如果同一硅片上加工有多个微通道时,取消通道间的分割线,避免通道间的分割线对最终通道侧面观测的影响,同时要求各个通道和通道之间预留有能够放置三棱镜(2)的间距;/n第二步:安放三棱镜;/n将三棱镜(2)放置在需要进行侧面观测通道的一侧,然后用胶水将三棱镜(2)和硅片(3)粘接在一起,一次浇注制作完成凸模组合;/n第三步:一次PDMS浇注;/n将液态PDMS试剂的预置剂A和凝固剂B按照10:1比例进行混合均匀,静置30min,待其溶液内混杂的气泡上浮,将无气泡的混合液浇注到第二步制作好的凸模组合上,将整体放入烤箱进行加热固化成型,取下成型后的PDMS上层模型;如果部分气泡无法上浮,用橡胶洗耳球将气泡吹破;/n第四步:键合盖板;/n取比通道尺寸大2mm、厚度2mm的矩形PDMS盖板(7),采用紫外线等离子键合机将浇注成型的上层模型和矩形PDMS盖板(7)键合在一起;/n第五步:黏贴矩形反射镜片;/n将键合盖板后的PDMS上层模型水平放置,用镊子取合适的矩形反射镜片(8)贴在三棱镜凹膜(5)45度的斜面上,微通道和45度的斜面加工完成;/n第六步:二次PDMS浇注;/n将粘好的矩形反射镜片(8)和矩形PDMS盖板(7)的通道模型放入培养皿容器内,然后将混合充分的液态PDMS溶液二次浇注到培养皿容器中,将整个微通道进行完全包裹,放入烤箱内进行加热使微通道芯片固化成型;/n第七步:芯片切割;/n根据观测需要,将固化成型后的微通道芯片切割成需要形状;/n第八步:观测;/n根据观测需要,利用显微镜(11)进行正面观测,或者调整微通道芯片的位置,通过矩形反射镜片(8)进行侧面观测。/n
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