[发明专利]智能氮氧传感器及其检测方法

摘要

本发明涉及氮氧传感器的技术领域，尤其涉及一种智能氮氧传感器及其检测方法。基体层、印刷功能层和闭合结构腔，基体层包括上层氧化锆基板、中层氧化锆基板和底层氧化锆基板；印刷功能层包括共用外电极、主泵内电极、副泵内电极、混合电势敏感电极、测量泵内电极、参比空气电极、绝缘包裹层一、绝缘包裹层二、加热线路和8个电极触点，闭合结构腔包括第一测量腔、第二测量腔和参比空气通道，这种智能氮氧传感器感应芯片不仅能通过电流型工作原理精确测量尾气中NOX的总量，还能通过混合电势特征检测尾气中NO/NO2的比例，这样就能准确计算出尾气中NO和NO2各自的浓度。

主权项

1.一种智能氮氧传感器，包括感应芯片，感应芯片包括基体层、印刷功能层和闭合结构腔，基体层包括上层氧化锆基板（1）、中层氧化锆基板（2）和底层氧化锆基板（3）；印刷功能层包括共用外电极（11）、主泵内电极（12）、副泵内电极（13）、混合电势敏感电极（31）、测量泵内电极（32）、参比空气电极（33）、绝缘包裹层一（41）、绝缘包裹层二（42）、加热线路（43）和8个电极触点；闭合结构腔包括第一测量腔（21）、第二测量腔（22）和参比空气通道（23），其特征在于：所述共用外电极（11）通过引线和电极触点（111）相连并印刷连接在上层氧化锆基板（1）的上端面；所述主泵内电极（12）和副泵内电极（13）以及引线印刷连接在上层氧化锆基板（1）的下端面、并通过上层氧化锆基板（1）上的通孔与印刷在上端面的电极触点一（121）、电极触点二（131）连接；所述混合电势敏感电极（31）和测量泵内电极（32）印刷连接在底层氧化锆基板（3）的上端面、并通过引线延伸至端头与两侧的电极触点三（311）、电极触点四（321）连接；所述参比空气电极（33）及引线也印刷连接在底层氧化锆基板（3）的上端面、并通过底层氧化锆基板（3）上的过孔与下端面电极触点五（331）连接；所述的绝缘包裹层一（41）、绝缘包裹层二（42）直接印刷连接在底层氧化锆基板（3）的下端面、并把印刷连接的加热线路（43）包裹起来，而电极触点五（331）、电极触点六（431）、电极触点七（432）则裸露在端头外面；所述中层氧化锆基板（2）上通过冲切加工设有第一测量腔（21）、第二测量腔（22）和参比空气通道（23），并且还设有第一扩散障碍层（211）和第二扩散障碍层（221）。