[发明专利]束流自适应校正器件及校正电极板有效
| 申请号： | 201810139891.7 | 申请日： | 2018-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108364839B | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 于得洋;薛迎利 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | H01J3/12 | 分类号： | H01J3/12 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 任岩<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 730000甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种束流自适应校正器件及校正电极板。该校正器件包括：两个相对设置的校正电极板，该校正电极板包括：绝缘基板；校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于校正电极之间，多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场；以及接地电极阵列，包含多个接地电极，每个接地电极分布于吹风电极与校正电极之间。该校正器件能够使出射的带电粒子束保持恒定的出射方向，而不随入射带电粒子束的轨迹变化而发生改变，达到自适应校正补偿，且不受器件几何结构精度、供电系统稳定度及灵敏度等的局限。 | ||
| 搜索关键词： | 校正电极 吹风 自适应校正 接地电极 电极 带电粒子束 绝缘基板 电极板 出射 束流 校正 供电系统 电极分布 电极阵列 轨迹变化 互相连接 几何结构 相对设置 正电极板 正负电场 正负电压 灵敏度 电阻串 恒定的 稳定度 加载 排布 入射 局限 | ||
【主权项】：
1.一种束流自适应校正电极板，包括：/n绝缘基板；/n校正电极阵列，分布于绝缘基板之上，包含多个校正电极，多个校正电极之间通过电阻串互相连接在一起；以及/n吹风电极阵列，包含多个吹风电极，每个吹风电极分布于相邻的校正电极之间，所述多个吹风电极上可分别加载正负电压，形成空间上排布的正负电场。/n
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