[发明专利]锥形镜柱面镜面形的测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201810140014.1 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN108362225B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 严焱;唐锋;王向朝;卢云君;彭常哲;董冠极 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 31317 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种锥形镜柱面镜面形测量装置及测量方法，测量装置包括波面测量干涉仪、干涉仪支架、精密旋转台和转台实时测量系统，所述的波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上；所述的转台实时测量系统包含辅助测量圆柱体和5个精密位移测量传感器。本发明具有高精度、低成本、高通用性且能同时测得待测元件面形信息和精密旋转台主轴回转误差，同时去除同步误差和异步误差的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 测量装置 实时测量系统 干涉仪支架 精密旋转台 波面测量 干涉仪 镜面形 锥形镜 转台 柱面 测量 精密位移测量 主轴回转误差 待测元件 辅助测量 面形信息 同步误差 低成本 传感器 去除 | ||
【主权项】：
1.一种锥形镜柱面镜面形的测量装置，其特征在于包括波面测量干涉仪(1)、干涉仪支架(2)、精密旋转台(12)和转台实时测量系统；所述的波面测量干涉仪(1)安装在干涉仪支架(2)上；所述的转台实时测量系统包含辅助测量圆柱体(3)和5个精密位移测量传感器；/n所述的辅助测量圆柱体(3)安装在所述的精密旋转台(12)上，所述的辅助测量圆柱体(3)的中心轴与所述的精密旋转台(12)的旋转轴共轴；所述的5个精密位移测量传感器，分别是置于所述的辅助测量圆柱体(3)之外的z轴方向、x轴方向、y轴方向的Z通道位移的精密位移测量传感器(5)，上截面X通道位移的精密位移测量传感器(6)和下截面X通道位移的精密位移测量传感器(8)，上截面Y通道位移的精密位移测量传感器(7)和下截面Y通道位移的精密位移测量传感器(9)，所述的上截面(10和下截面(11)是两个存在一段距离的水平面，垂直距离记为l；所述的辅助测量圆柱体(3)的上表面供待测光学元件(4)锥形镜或柱面镜放置。/n
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