[发明专利]一种采用电子束蒸发技术制备Ga有效
| 申请号： | 201810140108.9 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN108411250B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 杨陈;张进;蔡长龙;徐均琪 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/30 |
| 代理公司： | 61114 西安新思维专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明属于一种光电薄膜制备技术领域，具体涉及一种采用电子束蒸发技术制备Ga | ||
| 搜索关键词： | 光电薄膜 镀材料 制备 电子束蒸发技术 沉积 薄膜 关键工艺参数 制备技术领域 紫外光 衬底材料 非晶结构 粉碎成粒 工艺要求 光学应用 原子沉积 真空烧结 电探测 高纯度 后退火 可控性 速率和 高纯 晶化 气化 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种采用电子束蒸发技术制备Ga
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安工业大学，未经西安工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810140108.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
