[发明专利]体声波谐振器及其制造方法有效
| 申请号： | 201810141419.7 | 申请日： | 2018-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN110166014B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 庞慰;张孟伦;孙晨 | 申请（专利权）人： | 诺思（天津）微系统有限责任公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;卢军峰 |
| 地址： | 300462 天津市滨*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种体声波谐振器及其制造方法，该体声波谐振器包括：位于有效压电区域外部的空气间隙，空气间隙位于上电极与压电层之间和/或位于压电层与基底之间，并且空气间隙覆盖下电极的靠近空气间隙的端部或者空气间隙与下电极的端部连接；其中，空气间隙具有靠近有效压电区域的第一端，空气间隙的由第一端起始的至少部分上表面为弧形上表面。本发明的体声波谐振器改善了器件的Q值、有效机电耦合系数K |
||
| 搜索关键词： | 声波 谐振器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种体声波谐振器，其特征在于，包括：基底、设置在所述基底上方的下电极、设置在所述下电极上方的压电层、设置在所述压电层上方的上电极、以及设置在所述基底和所述下电极之间的声学镜；其中，所述上电极、所述压电层和所述下电极在厚度方向上相互的重叠区域形成有效压电区域，且在厚度方向上所述有效压电区域位于声学镜所在区域的内部；所述体声波谐振器还包括：位于所述有效压电区域外部的空气间隙，所述空气间隙位于所述上电极与所述压电层之间和/或位于所述压电层与所述基底之间，并且所述空气间隙覆盖下电极的靠近所述空气间隙的端部或者所述空气间隙与下电极的所述端部连接；其中，所述空气间隙具有靠近所述有效压电区域的第一端，所述空气间隙的由所述第一端起始的至少部分上表面为弧形上表面。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于诺思（天津）微系统有限责任公司，未经诺思（天津）微系统有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810141419.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
