[发明专利]图像传感装置的形成方法

摘要

提供图像传感装置的形成方法，包括形成第一沟槽于半导体基板中。半导体基板具有正面与背面，且第一沟槽自正面延伸至半导体基板中。方法包括形成第一隔离结构于第一沟槽中。方法包括形成光传感区于半导体基板中。第一隔离结构围绕光传感区。方法包括形成第二沟槽于半导体基板中。第二沟槽自背面延伸至半导体基板中，并露出第一隔离结构。方法包括形成第二隔离结构于第二沟槽中。第二隔离结构包括光阻挡结构以吸收或反射入射光。

主权项

1.一种图像传感装置的形成方法，包括：形成一第一沟槽于一基板中，其中该基板具有一正面与一背面，且该第一沟槽自该正面延伸至该基板中；形成一第一隔离结构于该第一沟槽中；形成一光传感区于该基板中，其中该第一隔离结构围绕该光传感区；形成一第二沟槽于该基板中，其中该第二沟槽自该背面延伸至该基板中，并露出该第一隔离结构；以及形成一第二隔离结构于该第二沟槽中，其中该第二隔离结构包括一光阻挡结构以吸收或反射入射光。