[发明专利]一种LED芯片生产用抛光装置

摘要

本发明公开了一种LED芯片生产用抛光装置，包括固定架、气缸、连接板、护罩、电机、磨盘、挡套、缺口、固定板、第一电动推杆、外延片、第一储液箱、第二储液箱、第一潜水泵、铜管、喷头、第二潜水泵、抽水泵、回液管、连接管、管盖、单向阀、支架、滑轨、滑板、吸盘、第一气管、气动泵、第二气管和第二电动推杆。本发明结构合理，通过第一电动推杆，便于对外延片进行固定，通过第二电动推杆和吸盘，为外延片的取出提供了方便，从而节约了外延片抛光和减薄的时间；通过抽水泵，可有效的对使用后的抛光液进行回收，进行二次使用，避免了抛光液的浪费，从而一定程度上节约了外延片的加工成本。

主权项

1.一种LED芯片生产用抛光装置，包括固定架（1），其特征在于：所述固定架（1）顶部表面固接有气缸（2），且气缸（2）输出末端固接有连接板（3），所述连接板（3）固接有护罩（4），所述护罩（4）顶部固接有电机（5），所述电机（5）输出端通过输出轴转动连接有磨盘（6），所述固定架（1）顶部表面固接有挡套（7）和固定板（9），所述挡套（7）一侧开有缺口（8），所述固定板（9）表面均匀开有若干个圆孔，所述圆孔内部放置外延片（11），所述固定板（9）内部嵌合安装有若干个第一电动推杆（10），且第一电动推杆（10）输出末端与外延片（11）侧边紧密贴合，所述护罩（4）顶部固接有第一储液箱（12）和第二储液箱（13），所述第一储液箱（12）底部内壁安装有第一潜水泵（14），所述第一潜水泵（14）输出端连通铜管（15），且铜管（15）中部绕缠在电机（5）表面，所述铜管（15）末端连通喷头（16）；所述第二储液箱（13）底部内壁安装有第二潜水泵（17）和抽水泵（18），所述抽水泵（18）连通回液管（19），且回液管（19）贯穿护罩（4），所述第二潜水泵（17）输出端连通连接管（20），所述连接管（20）末端与铜管（15）表面连通，所述固定架（1）一侧通过支架（23）固接有滑轨（24），且滑轨（24）滑动连接有滑板（25），所述滑板（25）底部固接有若干个第二电动推杆（30），且若干个第二电动推杆（30）输出末端均固接有吸盘（26），所述连接板（3）表面固接有气动泵（28），且气动泵（28）输出端连通第一气管（27），所述第一气管（27）通过第二气管（29）与吸盘（26）连通。