[发明专利]等离子体处理气体中污染物的方法有效

专利信息
申请号: 201810143772.9 申请日: 2018-02-09
公开(公告)号: CN108283869B 公开(公告)日: 2020-03-06
发明(设计)人: 王雨化 申请(专利权)人: 上海睿筑环境科技有限公司
主分类号: B01D53/32 分类号: B01D53/32
代理公司: 上海慧晗知识产权代理事务所(普通合伙) 31343 代理人: 苏蕾
地址: 200240 上海市闵*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种等离子体处理气体中污染物的方法,通过对处理腔内分布式设置的电极独立地进行控制驱动,同时利用部分电极作为气体传感器,采集气体的浓度信息,根据采集到的气体浓度信息调整加载在电极上的驱动电压的参数,使得处理腔内形成的等离子体的处理效率得到持续优化,从而实现等离子体状态与被处理气体中污染物含量的匹配,达到了高效、节能的技术效果;提高了气体中污染物处理的精细化。
搜索关键词: 等离子体 处理 气体 污染物 方法
【主权项】:
1.一种等离子体处理气体中污染物的方法,其特征在于,包括:S1:利用一等离子体设备对气体中的污染物进行等离子体处理;其中,该等离子体设备包括处理腔以及若干电极,所述若干电极分布式地固定于所述处理腔的内壁上;步骤S1具体包括:S101:对设置在处理腔的气流入口端的部分电极加载外部传感驱动信号,使这些电极用作气体传感器,对处理腔内的气体的浓度信息进行初始采集;S102:对处理腔内的所有电极独立地加载外部电压驱动信号,在处理腔内形成等离子体,对处理腔内的气体进行等离子体处理;S103:对设置在处理腔的气流出口端的部分电极加载外部传感驱动信号,使这些电极用作气体传感器,对处理腔内的气体的浓度信息进行再次采集;S104:根据再次采集到的气体的浓度信息优化加载在各个电极上的外部电压驱动信号的参数;S105:重复以上步骤S103-S104,使得加载在各个电极上的外部电压驱动信号的参数得到持续优化。
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