[发明专利]具有V形弹簧的微机电压电超声波换能器有效
| 申请号： | 201810145348.8 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108296155B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 谢金;陈旭颖;刘鑫鑫;乐先浩;陈冬阳 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B06B1/06 | 分类号： | B06B1/06 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 傅朝栋;张法高 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有V形弹簧的微机电压电超声波换能器。换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。本发明在结构层上通过V形弹簧将振膜应力符号相反的两个区域连接的设计，利用V形弹簧的多级刚度特性实现大带宽。同时，V形弹簧有利于减少振膜在残余应力作用下的初始形变，从而提高换能器的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 弹簧 微机 压电 超声波 换能器 | ||
【主权项】：
1.一种具有V形弹簧的微机电压电超声波换能器，其特征在于：包括基底(4)、底电极(3)、压电层(2)和上电极(1)，基底(4)背面中间部分开设槽形空腔，使基底(4)正面形成弹性结构层(41)，槽形空腔周边的基底(4)作为弹性结构层(41)的固定端；弹性结构层(41)的正面依次堆叠底电极(3)、压电层(2)和上电极(1)，与弹性结构层(41)共同构成振动薄膜(00)；底电极(3)覆盖基底(4)正面；底电极(3)和弹性结构层(41)刻蚀有呈圆环形阵列排布的V形弹簧，且V形弹簧位于弹性结构层(41)上的拉应力和压应力过渡区域中；压电层(2)和上电极(1)围绕V形弹簧铺设但不覆盖V形弹簧。
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