[发明专利]带钢用化学气相沉积炉在审
| 申请号： | 201810145768.6 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN110158062A | 公开（公告）日： | 2019-08-23 |
| 发明（设计）人： | 王波;郝允卫 | 申请（专利权）人： | 宝山钢铁股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/54 | 分类号： | C23C16/54;C23C16/455 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 刘锋;桑文慧 |
| 地址： | 201900 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带钢用化学气相沉积炉，包括炉体，所述炉体内部形成有多个反应腔，各所述反应腔之间通过加热通道连通，所述加热通道的两侧设有用于加热所述带钢的感应加热器，所述反应腔内设有一对用于向所述带钢的上下表面喷射气相化学反应物的喷嘴。采用本发明的带钢用化学气相沉积炉，能够使反应腔内气流均匀，且其使用寿命长。 | ||
| 搜索关键词： | 带钢 反应腔 化学气相沉积炉 加热通道 感应加热器 化学反应物 炉体内部 气流均匀 上下表面 使用寿命 喷嘴 炉体 加热 连通 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种带钢用化学气相沉积炉，其特征在于，包括炉体，所述炉体内部形成有多个反应腔，各所述反应腔之间通过加热通道连通，所述加热通道的两侧设有用于加热所述带钢的感应加热器，所述反应腔内设有一对用于向所述带钢的上下表面喷射气相化学反应物的喷嘴。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
