[发明专利]曝光装置中的光线转换结构、曝光装置及曝光方法有效
| 申请号： | 201810145982.1 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108287455B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 董小龙;朴松鹰;江俊波;张昭;赵巍;张兴强;闫虹旭;韦永强;王军才 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/35 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种曝光装置中的光线转换结构，包括光线引导组件与光线转化组件，所述光线引导组件，用于将曝光装置对位光线中的特定波长光线引入所述光线转化组件；所述光线转化组件，用于将所述光线引导组件引入的特定波长光线转换为用作曝光的预设波长光线。能将特定波长光线通过光线转换结构后得到预设波长光线，光线引导组件将特定波长光线通过引导组件的路径进入到光线转化组件中的过程中，同时降低光线在光线引导组件中的损失，进而提高光线转换效率。同时，本发明优选的实施例应用于曝光装置时，避免了曝光光能量的浪费，提升了曝光能量同时提升了曝光灯使用寿命，降低了曝光灯爆灯的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 中的 光线 转换 结构 方法 | ||
【主权项】：
1.一种曝光装置中的光线转换结构，其特征在于，包括光线引导组件与光线转化组件，所述光线引导组件，用于将曝光装置对位光线中的特定波长光线引入所述光线转化组件；所述光线转化组件，用于将所述光线引导组件引入的特定波长光线转换为用作曝光的预设波长光线。
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