[发明专利]带电粒子源的排放噪声校正在审
| 申请号： | 201810146111.1 | 申请日： | 2018-02-12 |
| 公开（公告）号： | CN108447758A | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | A·穆罕默迪-盖达里;L·米尔;P·C·蒂默杰;G·N·A·范维恩;H·N·斯林格兰 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 郑勇 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种操作带电粒子显微镜的方法，包括：‑在样本架上设置样本；‑使用源来产生受束流电流波动影响的带电粒子束；‑使用位于所述源和样本架之间的电子束电流传感器来拦截一部分电子束，并且产生与电子束的拦截部分的电流成比例的拦截信号，所述电子束电流传感器包括布置成使具有相关探针电流的电子束探针穿过的孔；‑在样本上扫描所述探针，从而以样本电流照射样本，其中停留时间与样本上的每个扫描位置相关联；‑使用检测器检测响应于所述探针的照射而从样本放射的辐射，并且产生相关联的检测器信号；‑使用所述拦截信号作为补偿器的输入，以抑制所述检测器信号中所述电流波动的影响；其中：‑电子束电流传感器配置为具有朝向源定向的传感层的半导体器件，其中：■电子束的所述拦截部分的每个带电粒子在所述传感层中产生电子/空穴对；■产生的电子被吸引到半导体器件的阳极；■产生的空穴被吸引到半导体器件的阴极；从而产生所述拦截信号。 | ||
| 搜索关键词： | 样本 电子束 半导体器件 电子束电流 拦截信号 检测器 空穴 带电粒子 电流波动 拦截 传感层 样本架 传感器 探针 照射 阴极 关联 传感器配置 带电粒子束 带电粒子源 电子束探针 检测器检测 阳极 扫描位置 探针电流 样本电流 噪声校正 补偿器 束流 显微镜 放射 吸引 扫描 穿过 停留 辐射 排放 响应 | ||
【主权项】：
1.一种操作带电粒子显微镜的方法，包括：在样本架上设置样本；使用源来产生受电子束电流波动影响的带电粒子束；使用位于所述源和样本架之间的电子束电流传感器来拦截一部分电子束，并且产生与电子束的拦截部分的电流成比例的拦截信号，所述电子束电流传感器包括一布置成使具有相关探针电流的电子束探针通过的孔；在样本上扫描所述探针，从而以样本电流照射样本，其中停留时间与样本上的每个扫描位置相关联；使用检测器检测响应于所述探针的照射而从样本放射的辐射，并且产生相关联的检测器信号；和使用所述拦截信号作为补偿器的输入，以抑制所述检测器信号中所述电流波动的影响；其中：电子束电流传感器配置为具有朝向源定向的传感层的半导体器件，其中：电子束的所述拦截部分的每个带电粒子在所述传感层中产生电子/空穴对；产生的电子被吸引到半导体器件的阳极；和产生的空穴被吸引到半导体器件的阴极；从而产生所述拦截信号。
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