[发明专利]一种石墨导流筒装置、锥形热场及单晶炉在审
申请号: | 201810148598.7 | 申请日: | 2018-02-13 |
公开(公告)号: | CN108166052A | 公开(公告)日: | 2018-06-15 |
发明(设计)人: | 潘清跃;姜宏伟 | 申请(专利权)人: | 南京晶能半导体科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人: | 张弛 |
地址: | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种石墨导流筒装置,其中导流筒包括锥形内顶、承载于锥形内顶底部并向下延伸的内筒、承载于内筒底部的锥内衬套;锥形内顶、内筒、锥内衬套三个部分通过“突台挂靠在承载部”的方式进行安装,实现嵌套的安装方式,便于安装及拆卸,同时安装精度也能够得到保证。通过该种结构,在需要对导流筒清理时,可以先将位于下方的锥内衬套先吊取出,再将内筒吊取出,最后将锥形内顶吊取出,分成三部分吊取减小了每次吊取作业的难度,便于实现清理作业。本发明也提供了包含上述石墨导流筒装置的锥形热场及单晶炉。 1 | ||
搜索关键词: | 内顶 内筒 石墨导流筒 内衬套 取出 承载 单晶炉 导流筒 热场 安装方式 便于安装 向下延伸 嵌套的 减小 突台 拆卸 挂靠 保证 | ||
所述上支撑板(1)中间设有第一圆形开口(11);中部支撑盘(2)中间设有第二圆形开口;所述锥形内顶(3)为中空的,锥形内顶(3)包括倒圆台形外壁(31),该外壁(31)顶部外缘向外突出第一突台(32),且第一突台(32)以挂靠方式承载于上支撑板(1)的第一圆形开口侧缘(11)上,锥形内顶(3)通过第一圆形开口向下延伸;
所述锥形内顶(3)的底部向内突设有第一承载部(33),所述内筒(4)的顶部设有向外突出有第二突台(41),且第二突台(41)位于锥形内顶(3)内并以挂靠方式承载于第一承载部(33)上;
所述锥内衬套(5)为倒圆台形的中空套体;内筒(4)的底部向内突设有第二承载部(42),所述锥内衬套(5)的顶部设有向外突出有第三突台(51),且第三突台(51)位于内筒(4)内并以挂靠方式承载于第二承载部(42)上。
2.根据权利要求1所述的石墨导流筒装置,其特征在于:还设有连接固定上支撑板(1)与中部支撑盘(2)的连接件(8),所述连接件(8)自上而下设置,且连接件(8)的上端与上支撑板(1)固定,连接件(8)的下端与中部支撑盘(2)固定。3.根据权利要求1或2所述的石墨导流筒装置,其特征在于:所述外衬套(7)为筒形,且外衬套(7)的顶部向外突出有第四突台(71);所述第四突台(71)以挂靠方式承载于第二圆形开口侧缘(21)上。4.根据权利要求3所述的石墨导流筒装置,其特征在于:所述底部支撑件(6)设有圆柱形的支撑侧壁(61)及自支撑侧壁(61)向内延伸的支撑底壁(62),且支撑底壁(62)中间设有第三圆形开口(63),所述支撑底壁(62)承载锥内衬套(5);所述支撑侧壁(61)的顶端向外突出有第五突台(64),所述外衬套(7)的底部向内突设有第三承载部(72);所述第五突台(64)位于外衬套(7)内并以挂靠方式承载于第三承载部(72)上。5.根据权利要求4所述的石墨导流筒装置,其特征在于:所述外衬套(7)与内筒之间填充有隔热材料;所述上支撑板(1)、中部支撑盘(2)与锥形内顶(3)之间填充有隔热材料。6.根据权利要求4所述的石墨导流筒装置,其特征在于:所述第一突台(32)、第一承载部(33)、第二突台(41)、第二承载部(42)、第三突台(51)、第四突台(71)、第五突台(64)、第三承载部(72)均为环状。7.根据权利要求1所述的石墨导流筒装置,其特征在于:所述锥形内顶(3)、内筒(4)、锥内衬套(5)均为石墨材质。8.一种锥形热场,其特征在于:包含如权利要求1至7中任一项所述石墨导流筒装置。9.一种单晶炉,其特征在于:包含如权利要求8中所述的锥形热场。该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京晶能半导体科技有限公司,未经南京晶能半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
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