[发明专利]铝掺杂氧化锌膜以及形成其的方法在审
| 申请号： | 201810149209.2 | 申请日： | 2018-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN108455873A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王希祖;冯如保·特蕾塞;梁燕南;李俊;王飞 | 申请（专利权）人： | 新加坡科技研究局;爱杰雅实业(新加坡)私人有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/25 | 分类号： | C03C17/25;C08J7/06 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 黎雷 |
| 地址： | 新加坡新加坡市科纳*** | 国省代码： | 新加坡;SG |
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| 摘要： | 多种实施方式可以提供一种形成铝掺杂氧化锌膜的方法。所述方法可以包括通过溶液沉积法在基底上形成种晶层。所述方法还可以包括在所述种晶层上沉积包含硝酸锌和氢氧化铝的前驱体溶液。所述方法可以进一步包括在等于或低于85℃的温度下使所述前驱体溶液与铝金属接触。所述铝掺杂氧化锌膜可以由所述前驱体溶液和所述铝金属形成。 | ||
| 搜索关键词： | 铝掺杂氧化锌 前驱体溶液 铝金属 种晶层 溶液沉积法 氢氧化铝 硝酸锌 基底 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种形成铝掺杂氧化锌膜的方法，所述方法包括：通过溶液沉积法在基底上形成种晶层；在所述种晶层上沉积包含硝酸锌和氢氧化铵的前驱体溶液；以及在等于或低于85℃的温度下，使所述前驱体溶液与铝金属接触；其中，所述铝掺杂氧化锌膜由所述前驱体溶液和所述铝金属形成。
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