[发明专利]曝光系统

摘要

本发明公开了一种曝光系统，包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；光源组件、投影组件和承载台均设置于曝光腔室内；光源组件用于产生曝光光线；投影组件设置有连杆构件、支撑构件以及驱动机构；驱动机构包括驱动器、滑轮、连接线，驱动器用于摆动透镜并将透镜保持在预定的角度；驱动器包括驱动主体和动力传递轴，圆盘状的滑轮安装在动力传递轴的前端；透镜的透镜主体的边缘部安装有两个轨道部件，第一、第二连接部件分别固定在轨道部件的左右方向的中间部分；支撑构件具有安装台，安装台包括支承构件和支撑部件，驱动器设置在支承构件的板状部的下表面。本发明能调整曝光系统中的投影组件的透镜的朝向。

主权项

1.一种曝光系统，其特征在于，所述曝光系统包括曝光腔室、光源组件、投影组件、承载台、固定支撑件、支撑框架；所述光源组件、所述投影组件和所述承载台均设置于所述曝光腔室内；所述光源组件用于产生曝光光线，并用于将所产生的所述曝光光线输出至所述投影组件；所述投影组件设置有连杆构件、支撑构件以及用于摆动所述光源组件的透镜以改变所述透镜的角度的驱动机构；所述驱动机构包括驱动器、滑轮、连接线，所述驱动器用于摆动所述透镜并将所述透镜保持在预定的角度；所述驱动器包括驱动主体和从所述驱动主体的上表面的中央部分向上延伸的动力传递轴，圆盘状的所述滑轮安装在所述动力传递轴的前端，所述滑轮由所述动力传递轴驱动而旋转；所述透镜的透镜主体的边缘部安装有两个轨道部件，第一连接部件、第二连接部件分别固定在所述轨道部件的左右方向的中间部分；所述动力传递轴的旋转力经由所述滑轮和所述连接线传递到所述第一连接部件，所述透镜以中心轴为中心摆动，从而使得所述透镜朝向预定角度；所述支撑构件具有安装台，所述安装台包括支承构件和支撑部件，所述驱动器设置在所述支承构件的板状部的下表面。