[发明专利]半导体封装设备在审

专利信息
申请号: 201810154956.5 申请日: 2018-02-23
公开(公告)号: CN109638149A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 欧任凯;王盟仁;蔡宗岳;洪志明 申请(专利权)人: 日月光半导体制造股份有限公司
主分类号: H01L41/25 分类号: H01L41/25;H01L41/04;G06F3/01
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 蕭輔寬
地址: 中国台湾高雄市楠梓*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 一种电子设备包含压电模块、感测模块和缓冲元件。所述压电模块包含衬底和压电元件。所述衬底界定穿透所述衬底的开口。所述压电元件安置于所述衬底上且跨越所述衬底的所述开口。所述感测模块安置于所述压电模块上方。所述缓冲元件安置于所述压电模块与所述感测模块之间。
搜索关键词: 衬底 压电模块 感测模块 缓冲元件 压电元件 安置 开口 半导体封装设备 电子设备 界定 穿透
【主权项】:
1.一种电子设备,其包括:压电模块,其包括:衬底,其界定穿透所述衬底的开口;以及压电元件,其安置于所述衬底上且跨越所述衬底的所述开口;感测模块,其安置于所述压电模块上方;以及缓冲元件,其安置于所述压电模块与所述感测模块之间。
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