[发明专利]一种物体表面平整度快速测量装置

摘要

本发明一种物体表面平整度快速测量装置属于工业生产机械光学检测测试等技术领域。该装置由照明成像模块和运动机构组成；照明成像模块由照明系统和成像系统组成；在照明系统中，沿光线传播方向依次设置激光器、分光镜、物镜和被测物件；在成像系统中，沿光线传播方向依次设置被测物件、物镜、分光镜、衰减片、针孔和图像传感器；运动机构由上固定端，上杆，运动块，下杆，下固定端，电机，连轴器，T型转盘和限位凸起组成；运动块在停滞状态下，激光器发出的光束准焦到被测物件表面，被测物件反射的光束准焦到针孔上。本发明不仅能够对物体表面平整度进行定性检测，而且操作过程简单，操作方法容易，而且能够对噪声进行滤除或监测，检测结果准确。

主权项

1.一种物体表面平整度快速测量装置，其在于，由照明成像模块和运动机构组成；所述的照明成像模块由照明系统和成像系统组成；在照明系统中，沿光线传播方向依次设置激光器(1‑1)、分光镜(1‑2)、物镜(1‑4)和被测物件(1‑6)；所述物镜(1‑4)由载物台(1‑3)承载，沿光轴方向运动；所述被测物件(1‑6)由二维平移台(1‑5)承载，在垂直光轴的平面内二维运动；激光器(1‑1)发出的光束，依次经过分光镜(1‑2)和物镜(1‑4)透射，准焦或离焦到被测物件(1‑6)表面；在成像系统中，沿光线传播方向依次设置被测物件(1‑6)、物镜(1‑4)、分光镜(1‑2)、衰减片(1‑7)、针孔(1‑8)和图像传感器(1‑9)；被测物件(1‑6)反射的光束，以及经过物镜(1‑4)透射，分光镜(1‑2)反射，衰减片(1‑7)透射，准焦或离焦到针孔(1‑8)上；所述的运动机构由上固定端(2‑1)，上杆(2‑2)，运动块(2‑3)，下杆(2‑4)，下固定端(2‑5)，电机(2‑6)，连轴器(2‑7)，T型转盘(2‑8)和限位凸起(2‑9)组成；所述上固定端(2‑1)为直线轴承，与上杆(2‑2)组合成直线导轨结构；所述下固定端(2‑5)为直线轴承，与下杆(2‑4)组合成直线导轨结构；所述运动块(2‑3)的上方连接上杆(2‑2)，运动块(2‑3)的下方连接下杆(2‑4)，运动块(2‑3)为具有通槽的平板结构，所述通槽包括一个劣弧通槽和对称设置在劣弧通槽两端的直通槽，劣弧通槽和直通槽的宽度相等，直通槽之间的距离不小于劣弧通槽所对应圆周的直径；所述电机(2‑6)、上固定端(2‑1)和下固定端(2‑5)的相对位置固定，所述T形转盘(2‑8)包括圆柱形伸出结构和盘状结构，电机(2‑6)的转轴通过联轴器(2‑7)连接T形转盘(2‑8)的圆柱形伸出结构，在电机(2‑6)转动作用下，T形转盘(2‑8)的盘状结构在垂直电机(2‑6)转轴的平面内旋转，在盘状结构的端部，设置有截面为圆形的限位凸起(2‑9)，所述限位凸起(2‑9)插入到运动块(2‑3)的通槽中，在电机(2‑6)转动作用下，运动块(2‑3)进行往复式间歇运动；运动块(2‑3)在停滞状态下，激光器(1‑1)发出的光束准焦到被测物件(1‑6)表面，被测物件(1‑6)反射的光束准焦到针孔(1‑8)上。