[发明专利]可提升太阳能硅锭收率的坩埚及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201810157555.5 申请日: 2018-02-24
公开(公告)号: CN110055584A 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 熊涛涛;巢芳家;刘立中;李子龙 申请(专利权)人: 内蒙古上航新能源有限公司
主分类号: C30B28/06 分类号: C30B28/06;C30B29/06;C04B41/89;C04B41/87
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 014100 内蒙古自治*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明公开了一种可提升太阳能硅锭收率的坩埚及其制备方法,坩埚包括石英坩埚本体、高纯八水合氢氧化钡涂层、高纯熔融石英浆料涂层、高纯石英晶片及脱模氮化硅涂层;制备方法包括(1)高纯八水合氢氧化钡涂层的制备,(2)高纯熔融石英浆料涂层的制备,(3)底部石英晶片的粘贴,(4)脱模氮化硅涂层的制备。本发明的优点在于,在石英坩埚本体内侧壁与脱模氮化硅涂层之间增加高纯八水合氢氧化钡涂层和高纯熔融石英浆料涂层,可起到阻隔杂质进入液态硅的效果,提高硅锭收率;底部粘贴一层高纯石英晶片,可以阻隔杂质进入液态硅中,提高硅锭质量,提升硅锭收率;脱模氮化硅涂层所用的脱模氮化硅溶液中β晶向氮化硅含量高,有利于硅锭形核。
搜索关键词: 制备 脱模 氮化硅涂层 硅锭 收率 八水合氢氧化钡 高纯熔融石英 高纯 浆料 坩埚 高纯石英 石英坩埚 太阳能硅 液态硅 晶片 粘贴 阻隔 氮化硅溶液 石英晶片 氮化硅 内侧壁 晶向 形核
【主权项】:
1.可提升太阳能硅锭收率的坩埚,其包括石英坩埚本体,其特征在于,在所述石英坩埚本体的内侧壁上由内至外依次设有高纯八水合氢氧化钡涂层、高纯熔融石英浆料涂层,在所述石英坩埚本体底部粘贴覆盖有高纯石英晶片,在所述高纯熔融石英浆料涂层内侧壁及所述高纯石英晶片顶面上喷涂有脱模氮化硅涂层。
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