[发明专利]一种基于ZnSnO纳米纤维的场效应晶体管制备方法

摘要

本发明公开了一种基于ZnSnO纳米纤维的场效应晶体管制备方法，首先进行ZrO2前驱体溶液的制备，选用P型低阻硅作为衬底和栅电极进行清洗，制备ZrO2薄膜，制备ZnSnO前驱体溶液，再将聚乙烯吡咯烷酮加入ZnSnO前驱体溶液中，采用静电纺丝法制备ZnSnO纳米纤维，本发明的有益效果是能够实现低成本且工业化生产，其整体工艺简单，原理可靠。

主权项

1.一种基于ZnSnO纳米纤维的场效应晶体管制备方法，其特征在于按照以下步骤进行：(1)ZrO2前驱体溶液的制备：将Zr(NO3)4·5H2O溶于N，N二甲基甲酰胺中，在室温下磁力搅拌形成澄清透明的ZrO2前驱体溶液；(2)清洗衬底：选用P型低阻硅作为衬底和栅电极，依次用丙酮和无水乙醇超声波清洗低阻硅衬底，用去离子水冲洗，再用氮气吹干；(3)ZrO2薄膜的制备：清洗低阻硅衬底表面，在清洗后的低阻硅衬底上采用溶胶凝胶法分别旋涂ZrO2前驱体溶液，将旋涂后的薄膜放到烤胶台上进行烘焙；然后UV光处理后，再将其进行退火，实现脱羟基作用及金属氧化物致密化的过程，得到ZrO2薄膜；(4)ZnSnO前驱体溶液的制备：将SnCl2和ZnCl2混合不同的摩尔比，溶于N，N二甲基甲酰胺中，在常温下磁力搅拌形成澄清透明的ZnSnO前驱体溶液；(5)加入聚乙烯吡咯烷酮：再将聚乙烯吡咯烷酮加入ZnSnO前驱体溶液中，得到混合溶液；(6)静电纺丝法制备ZnSnO纳米纤维：接着将长有ZrO2薄膜的衬底附在收集板上，再将步骤(5)制得的混合溶液加入注射泵内，注射泵内溶液从针头喷出并剧烈抖动且直径迅速下降，最后被收集板接收，制得一维ZnSnO纳米纤维；(7)UV光处理及高温煅烧：将步骤(6)制得的ZnSnO纳米纤维置于烤胶台上烘烤；然后放置在高压汞灯下，在马弗炉中300～700℃温度下处理，得到金属氧化物纳米纤维。