[发明专利]压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷射装置有效
| 申请号： | 201810159607.2 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108656748B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 塚原克智;平井荣树;高部本规;山田大介;松本泰幸;田中秀一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;H01L41/047 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 苏萌萌;权太白 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在抑制大型化的同时抑制了对置的配线间的短路的压电器件、MEMS器件、液体喷射头以及液体喷出装置。压电器件(致动器单元14)具有：第一基板(压力室形成基板29、振动板31)，其具备压电体层(38)以及至少一部分层压在压电体层(38)上的第一配线(上电极层39)；以及第二基板(密封板33)，其具备被施加与第一配线(上电极层39)不同的电信号的第二配线(下表面侧配线47)，第一配线(上电极层39)与第二配线(下表面侧配线47)以隔开间隔的方式对置，所述压电器件(致动器单元14)的特征在于，第一配线(上电极层39)和第二配线(下表面侧配线47)中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层(55)覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 器件 mems 液体 喷射 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压电器件，其特征在于，具有：第一基板，其具备压电体层以及至少一部分层压在所述压电体层上的第一配线；以及第二基板，其具备被施加与所述第一配线不同的电信号的第二配线，并且，所述第一配线与所述第二配线对置，在所述压电器件中，所述第一配线和所述第二配线中的至少一方的配线中的至少一部分被具有绝缘性的保护层覆盖。
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