[发明专利]涂布装置及涂布方法有效

专利信息
申请号: 201810160577.7 申请日: 2018-02-26
公开(公告)号: CN108630951B 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 大森雅文;高木善则 申请(专利权)人: 株式会社斯库林集团
主分类号: H01M4/88 分类号: H01M4/88
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 马爽;臧建明
地址: 日本京都府京都市上京区堀*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种防止腔室内的气体对外部的其他步骤带来影响的涂布装置及涂布方法。膜·催化剂层接合体的制造装置(1)包括:涂布部(30),将含有可燃性材料的催化剂材料涂布在被搬送的电解质膜(92)上;干燥炉(40),配置在比涂布部(30)更位于电解质膜(92)的搬送方向的下游侧,并使由涂布部(30)所涂布的催化剂材料干燥;腔室(70),覆盖涂布部(30)及干燥炉(40),并具有搬入口(70A)及搬出口(70B);排气量传感器(71S),检测腔室(70)内的空气;及闸门机构(81)、(82),使搬入口(70A)及搬出口(70B)进行开闭。闸门机构(81)、(82)平时使搬入口(70A)及搬出口(70B)开放,对应于由排气量传感器(71S)所得的检测结果而封锁搬入口(70A)及搬出口(70B)。
搜索关键词: 装置 方法
【主权项】:
1.一种涂布装置,其特征在于,包括:搬送部,搬送基材;涂布部,将含有可燃性材料的涂布液涂布在由所述搬送部所搬送的基材上;干燥部,配置在比所述涂布部更位于所述基材的搬送方向的下游侧,并使由所述涂布部所涂布的涂布液干燥;腔室,覆盖所述涂布部及所述干燥部的至少一者,并具有被搬送的基材的搬入口与搬出口;开闭构件,使所述搬入口及所述搬出口进行开闭;检测部,检测所述腔室内的空气;以及开闭构件驱动部,对所述开闭构件进行驱动,平时使所述搬入口及所述搬出口开放,对应于由所述检测部所得的检测结果而封锁所述搬入口及所述搬出口。
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