[发明专利]磁芯线圈及其制备方法有效
| 申请号： | 201810161459.8 | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN108461273B | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 阮勇;尤政;杨建中;盛文海 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01F41/04 | 分类号： | H01F41/04;H01F41/12;H01F27/28;H01F27/24;H01F27/32 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 王程 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种磁芯线圈的制备方法，包括如下步骤：1)制备底层导线；2)制备第一铜立柱层和第一绝缘层，其中第一绝缘层由第一光刻胶直接固化形成；3)制备磁芯导电层；4)制备第二铜立柱层、第二绝缘层、磁芯；5)制备第三铜立柱层、第三绝缘层，其中第三绝缘层由第三光刻胶直接固化形成；6)制备上层导线。本发明提供的磁芯线圈的制造方法，将三维图像分割为相互独立相互联系的二维的层结构，通过将磁芯线圈划分为多个相互独立且相互联系的层结构，通过简单的分层制造能够获得结构复杂的磁芯线圈，不需后续的刻蚀工艺，适合低成本的三维磁感线圈的制作。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 绝缘层 磁芯线圈 铜立柱 层结构 光刻胶 磁芯 固化 磁感线圈 底层导线 分层制造 刻蚀工艺 三维图像 导电层 低成本 二维 三维 上层 分割 制作 制造 | ||
【主权项】：
1.一种磁芯线圈的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)制备底层导线；2)制备第一铜立柱层和第一绝缘层，其中第一绝缘层由第一光刻胶直接固化形成；3)制备磁芯导电层；4)制备第二铜立柱层、第二绝缘层和磁芯，其中，所述制备第二绝缘层、第二铜立柱层和磁芯的具体过程包括：通过光刻处理，旋涂第二光刻胶、曝光、显影，同时制备得到所述第二铜立柱层的图形和磁芯的图形，所述第二铜立柱层的位置与所述第一铜立柱层的位置重合，所述磁芯的位置与所述磁芯导电层的位置重合；通过电镀处理，在所述第二铜立柱层的图形上制备得到所述第二铜立柱层，在所述磁芯的图形上制备得到所述磁芯；通过固化处理使第二光刻胶固化，形成所述第二绝缘层；5)制备第三铜立柱层和第三绝缘层，其中第三绝缘层由第三光刻胶直接固化形成；6)制备上层导线。
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