[发明专利]一种单晶硅片生产系统及其生产工艺

摘要

本发明公开了一种单晶硅片生产系统，它包括滚磨机、切片装置、倒角装置、研磨机和清洗槽；它还公开了单晶硅片的生产工艺。本发明的有益效果是：滚磨精度高、快速实现单晶硅棒的工装、能够滚磨不同长度的单晶硅棒、能够一次性将单晶硅棒切成数片单晶硅片、自动定心、提高倒角效率、自动化程度高、能够一次性研磨数片单晶硅片、研磨效率高、清洗效率高。

主权项

1.一种单晶硅片生产系统，其特征在于：它包括滚磨机、切片装置、倒角装置、研磨机和清洗槽；所述滚磨机包括机身（1）、设置于机身（1）顶部的横向液压滑台（2）和纵向液压滑台（3），所述横向液压滑台（2）的顶表面上且位于其左右端部分别设置有动力机构和水平油缸（4），动力机构的输出端连接有转轴（5），水平油缸（4）的活塞杆的端部旋转安装有轴套（6），轴套（6）的左端面上设置有锥形头（7），锥形头（7）上套有套筒（8），套筒（8）与转轴（5）同轴设置，所述纵向液压滑台（3）的顶部固定安装有电机A（9），电机A（9）的输出轴上安装有前后设置的砂轮A（10）；所述切片装置包括机箱（14）、设置于机箱（14）顶部的油缸I（15）、设置于机箱（14）内的放卷机构（16）和收卷机构（17），所述机箱（14）内旋转安装有前后设置的左辊筒（18）和右辊筒（19），左辊筒（18）与右辊筒（19）之间缠绕有钢丝（20），钢丝（20）首端固定于放卷机构（16）上，钢丝（20）的末端固定于收卷机构（17）上，所述油缸I（15）的活塞杆伸入于机箱（14）内且活塞杆的末端固设有导轨（21），导轨（21）内开设有燕尾形槽，燕尾形槽内滑动安装有滑块（22），所述机箱（14）内还设置有前后设置的滴管（23），滴管（23）位于左辊筒（18）和右辊筒（19）之间，且滴管（23）设置于钢丝（20）的上方，滴管（23）的底部且沿其长度方向设置有多个出浆孔；所述倒角装置包括机壳（26），机壳（26）内设置有定位板（27）、微动开关（28）和气缸（29），所述定位板（27）设置于机壳（26）的后板上，微动开关（28）设置于机壳（26）的左侧板上，左侧板上开设有通槽，通槽内旋转安装有砂轮B（30），砂轮B（30）位于微动开关（28）的前侧，气缸（29）由前往后贯穿机壳（26）的前板设置，气缸（29）的活塞杆上设置有连接板（31），连接板（31）的底部经转轴旋转安装有主动带轮（32）和从动带轮（33），主动带轮（32）和从动带轮（33）之间安装有皮带（34），连接板（31）的顶部固定安装有电机E（35），电机E（35）的输出轴与主动带轮（32）的转轴连接，从动带轮（33）的转轴上设置有真空吸盘（36），真空吸盘（36）位于连接板（31）上方，真空吸盘（36）与从动带轮（33）的转轴同轴设置，真空吸盘（36）的中心距定位板（27）的距离等于真空吸盘（36）的中心距微动开关（28）的距离；所述研磨机包括龙门架（37）、设置于龙门架（37）下方的轴承座（38），龙门架（37）横梁的顶部固定安装有油缸II（39），油缸II（39）活塞杆的作用端旋转安装有转盘（40），转盘（40）的外边缘上设置有环形槽（41），转盘（40）的下方设置有上研磨盘（42），上研磨盘（42）与转盘（40）之间固设有连接件（43），上研磨盘（42）与环形槽（41）之间设置有多根管道（44），管道（44）的一端与环形槽（41）连通，另一端连通上研磨盘（42）的下表面，上研磨盘（42）的中部开设有通孔（45），通孔（45）的边缘上且绕其圆周方向设置有多个固定块（46）；所述轴承座（38）内安装有主轴（47），主轴（47）的顶部固设有连接轴（48），连接轴（48）位于通孔（45）的正下方，连接轴（48）的柱面上且绕其圆周方向设置有多个与固定块（46）相配合的凹槽（49），主轴（47）上旋转安装有位于连接轴（48）下方的外筒体（50），外筒体（50）上安装有下研磨盘（51）和从动齿轮C（52），下研磨盘（51）位于从动齿轮C（52）的上方，主轴（47）上还安装有位于外筒体（50）下方的从动齿轮D（53）；该研磨机还包括电机C（54）和电机D（55），电机C（54）的输出轴上安装有主动齿轮C（56），主动齿轮C（56）与从动齿轮C（52）啮合，电机D（55）的输出轴上安装有主动齿轮D（57），主动齿轮D（57）与从动齿轮D（53）啮合；所述清洗槽包括槽体（58），所述槽体（58）的内壁上设置有超声波发生器，槽体（58）的前后壁上均设置有翻边（59），两个翻边（59）的上方均设置有主支架（60），所述槽体（58）的前后侧均旋转安装有传动轴（61），传动轴（61）上安装有凸轮（62），槽体（58）的前后侧均设置有导向套（63）和电机F（64），电机F（64）的输出端与传动轴（61）连接，导向套（63）位于传动轴（61）和翻边（59）之间，导向套（63）内滑动安装有可做上下移动的导向杆（65），导向杆（65）的底部旋转安装有滚轮（66），滚轮（66）放置于凸轮（62）上，导向杆（65）的顶部贯穿翻边（59）且固定于主支架（60）上；所述主支架（60）上固设有连接杆（67），连接杆（67）伸入于槽体（58）内，连接杆（67）之间设置有位于槽体（58）内的框架（68）；该生产系统还包括控制器和抽真空装置，抽真空装置与真空吸盘（36）连接，所述控制器与电机、油缸、微动开关（28）、抽真空装置、气缸（29）、横向液压滑台（2）、 纵向液压滑台（3）连接。