[发明专利]一种用于硅片清洗的机械手

摘要

本发明公开了一种用于硅片清洗的机械手，属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述升降驱动机构的下端与基座连接，用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动，所述夹具机头安装在升降驱动机构的顶部，用于通过第一驱动杆和第二驱动杆驱动两个夹爪对硅片进行夹持和松开，所述基座侧移驱动机构安装在基座的侧部，用于带动基座进行水平方向的移动。该机械手的两个夹爪用于夹持硅片，并通过夹爪在水平方向的移动来实现硅片在清洗槽内的清洗，提高清洗液对硅片表面的冲刷，提高硅片的清洗效果，加快硅片的清洗效率，利用夹爪对硅片的侧部进行夹持，可以有效保护硅片的表面免受损伤。

主权项

1.一种用于硅片清洗的机械手，其特征在于，该机械手包括基座(1)、夹具机头、升降驱动机构、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述基座侧移驱动机构设在基座(1)的侧面，所述升降驱动机构的下端与基座(1)连接，所述夹具机头设在升降驱动机构的顶部，所述夹具机头包括机座(21)、第一驱动块(22)、第二驱动块(23)、第一连接杆(24)、第二连接杆(25)、机头驱动机构和复位机构，所述机座(21)上设有两个驱动杆穿设孔和两个连接杆穿设孔，所述两个连接杆穿设孔设在两个驱动杆穿设孔之间，所述两个驱动杆穿设孔内分别穿设有第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)，所述第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的左端分别穿设于两个驱动杆穿设孔内，所述两个夹爪分别连接在第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的右端，所述两个夹爪相对设置，所述第一驱动块(22)和第二驱动块(23)分别设置在两个驱动杆穿设孔的左侧，且第一驱动块(22)与第一驱动杆(26)的左端固定连接，所述第二驱动块(23)与第二驱动杆(27)的左端固定连接，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)分别穿设于两个连接杆穿设孔内，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的左端均伸出至两个连接杆穿设孔的左侧，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的左端均逐渐缩小，所述第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的右端均与机头驱动机构连接，所述第一驱动块(22)和第二驱动块(23)均与复位机构连接，所述第一驱动块(22)上设有第一支撑件，所述第二驱动块(23)上设有第二支撑件，所述第一支撑件在复位机构的作用下压紧在第一连接杆(24)的左端，所述第二支撑件在复位机构的作用下压紧在第二连接杆(25)的左端，且第一支撑件和第二支撑件均处于第一连接杆(24)和第二连接杆(25)的同一侧，所述机头驱动机构驱动第一连接杆(24)和第二连接杆(25)分别在两个连接杆穿设孔内滑动，所述第一支撑件到第一连接杆(24)中心线的距离发生改变，所述第二支撑件到第二连接杆(25)中心线的距离发生改变，所述复位机构驱动第一驱动块(22)和第二驱动块(23)旋转，且第一驱动块(22)和第二驱动块(23)的旋转方向相反，所述第一驱动块(22)带动第一驱动杆(26)旋转，所述第二驱动块(23)带动第二驱动杆(27)旋转，且所述第一驱动杆(26)和第二驱动杆(27)的旋转方向相反，从而带动两个夹爪对硅片进行夹持或松开。