[发明专利]一种多场增强空心阴极离子源有效
| 申请号： | 201810162944.7 | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108417472B | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郎文昌;陈伟;曹艳;陈曦羽 | 申请（专利权）人： | 温州职业技术学院 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/32 |
| 代理公司： | 温州名创知识产权代理有限公司 33258 | 代理人： | 陈加利 |
| 地址： | 325000 浙江省温州市瓯海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种多场增强空心阴极离子源，包括有阴极总成和阳极总成，所述的阴极总成包括有放电体、水冷盘和绝缘外壳，放电体安装于水冷盘的中心位置，绝缘外壳固定于水冷盘上且套设于放电体外，阴极总成上设置有连接绝缘外壳内腔的进气口，所述的放电体包括有金属连接座、钽空心管、外金属套管、硼化铼片和电子出射盖，所述的阳极总成包括有阳极水冷套管，该阳极水冷套管的内腔为空气电离区，气体离子出射口的外端设置有引出极栅网。该离子源通过空心阴极效应、热效应、磁场约束、硼化铼增强等多重效应，大大提高了离子源的离化率和离子浓度。 | ||
| 搜索关键词： | 放电体 离子源 阴极总成 水冷盘 绝缘外壳 空心阴极 阳极总成 场增强 阳极水 套管 硼化 进气口 热效应 绝缘外壳内腔 空心阴极效应 金属连接座 空气电离区 外金属套管 磁场约束 气体离子 出射口 空心管 引出极 出射 离化 内腔 外端 栅网 离子 | ||
【主权项】：
1.一种多场增强空心阴极离子源，其特征在于：包括有阴极总成和阳极总成，所述的阴极总成包括有放电体、水冷盘和绝缘外壳，放电体安装于水冷盘的中心位置，绝缘外壳固定于水冷盘上且套设于放电体外，阴极总成上设置有连接绝缘外壳内腔的进气口，所述的放电体包括有金属连接座、钽空心管、外金属套管、硼化铼片和电子出射盖，所述的金属连接座热接触固定连接于水冷盘上，所述的钽空心管的一端固定于金属连接座的中心位置，该外金属套管套设于钽空心管的外端且该外金属套管套的一端固定于金属连接座的周缘位置，电子出射盖设于外金属套管套的另一端，且电子出射盖上设置有对应钽空心管下端开口处的电子出射口，所述的外金属套管为钨套管或钼套管，所述的硼化铼片电连接固定套设于钽空心管外壁上，所述的阳极总成包括有阳极水冷套管，该阳极水冷套管的内腔为空气电离区，空气电离区的上端与电子出射口对接，空气电离区的下端为气体离子出射口，所述的该阳极水冷套管外套设有电磁线圈，所述的气体离子出射口的外端设置有引出极栅网。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于温州职业技术学院，未经温州职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810162944.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
