[发明专利]一种真空压力控制阀

摘要

本发明涉及到一种在真空设备中使用的具有隔离功能的提升式压力控制阀门，包括：阀体形成有阀腔，阀体上具有至少两个使阀腔与外界联通的接口，阀腔内，与其中至少一个接口对应的位置处设有阀座；阀芯包括固定连接的阀板和阀杆，耦合器包括支架、固定在支架上的线圈和衔铁，开度执行器，用于驱动耦合器的支架上下运动，耦合器设置在阀体的上方，阀芯设置在阀腔内，阀板与阀座相配合，阀杆穿过阀体，与设置在阀体上方的衔铁固定连接。本发明的一种真空压力控制阀，实现纯电连接系统下，在宽流导范围内精确调节流量，从而实现精确压力控制，并且可以实现隔离及紧急失电保护，适合于从大气压到中低真空的排气控制和工艺压力控制。

主权项

1.一种真空压力控制阀，其特征在于包括：阀体，所述阀体形成有阀腔，阀体上具有至少两个使阀腔与外界联通的接口，所述阀腔内，与其中至少一个接口对应的位置处设有阀座；阀芯，所述阀芯包括固定连接的阀板和阀杆，耦合器，所述耦合器包括支架、衔铁和固定在支架上的线圈，和开度执行器，用于驱动耦合器的支架上下运动，所述耦合器设置在阀体的上方，所述阀芯设置在阀腔内，阀板与阀座相配合，所述阀杆穿过阀体，与设置在阀体上方的衔铁固定连接。