[发明专利]一种基于石墨烯薄膜的增益可调控声表面波微陀螺仪

摘要

本发明公开了一种基于石墨烯薄膜的增益可调控声表面波微陀螺仪，包括压电基片、声表面波谐振器和声表面波检测器；声表面波谐振器包括叉指换能器，在叉指换能器之间有金属点阵，在叉指换能器外侧有反射器和吸声胶；声表面波检测器包括对称设在声表面波谐振器两侧的延迟线且延迟线与声表面波谐振器平行；延迟线包括一对单相单向叉指换能器、石墨烯薄膜、金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ，在单相单向叉指换能器之间有石墨烯薄膜，石墨烯薄膜上设金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ，且金属电极Ⅰ和金属电极Ⅱ与声表面波谐振器的声波传播方向垂直。本发明通过在电极上施加电压形成电场，对哥氏效应二次声表面波增益进行调控，有效提高微陀螺仪的灵敏度、准确性和稳定性。

主权项

1.一种基于石墨烯薄膜的增益可调控声表面波微陀螺仪，其特征在于：包括压电基片（1）和设置在压电基片（1）上的声表面波谐振器（2）和声表面波检测器（3）；所述声表面波谐振器（2）包括两个对称设置的叉指换能器（2‑1），在两个叉指换能器之间分布有均匀排列的金属点阵（2‑2），在每个叉指换能器（2‑1）的外侧均设置有一个反射器（2‑3）和一个吸声胶（4），且吸声胶（4）平行设置在反射器（2‑3）外侧；所述声表面波检测器（3）包括两个对称设置在声表面波谐振器（2）两侧的延迟线（3‑1）且两延迟线（3‑1）的设置方向与声表面波谐振器（2）的设置方向平行；所述延迟线（3‑1）包括一对单相单向叉指换能器（3‑1‑1）、石墨烯薄膜（3‑1‑2）、金属电极Ⅰ（3‑1‑3）和金属电极Ⅱ（3‑1‑4），在两个单相单向叉指换能器（3‑1‑1）之间设有石墨烯薄膜（3‑1‑2），在石墨烯薄膜（3‑1‑2）上平行设置有金属电极Ⅰ（3‑1‑3）和金属电极Ⅱ（3‑1‑4），且金属电极Ⅰ（3‑1‑3）和金属电极Ⅱ（3‑1‑4）与声表面波谐振器（2）的声波传播方向垂直；且在每个单相单向叉指换能器（3‑1‑1）的外侧均设置有一个吸声胶（4）。