[发明专利]一种基于在位膜厚测量的超精密车削或铣削对刀法有效
| 申请号： | 201810163879.X | 申请日： | 2018-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN108381295B | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 周天丰;阮本帅;周佳;唐龙龙;梁志强;焦黎;刘志兵;谢丽静;颜培;王西彬 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | B23Q15/22 | 分类号： | B23Q15/22 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王海燕 |
| 地址： | 100000 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种基于在位膜厚测量的超精密车削或铣削对刀法，包括如下步骤：步骤110：真空吸盘自切；步骤120：工件平整加工；步骤130：透明薄膜涂覆；步骤140：薄膜平整加工；步骤150：膜厚检测；步骤160：微纳加工；步骤170：薄膜去除。本发明提供的基于在位膜厚测量的超精密车削或铣削对刀法，使刀具零基准点确定时精度高、效率高、成本低且对刀具磨损少。 | ||
| 搜索关键词： | 超精密车削 膜厚测量 铣削 在位 平整加工 薄膜去除 刀具磨损 膜厚检测 透明薄膜 微纳加工 真空吸盘 基准点 涂覆 薄膜 刀具 | ||
【主权项】：
1.一种基于在位膜厚测量的超精密车削或铣削对刀法，其特征在于：包括如下步骤；步骤110：真空吸盘自切：将机床主轴上的真空吸盘通过车/铣削加工平整；步骤120：工件平整加工；将工件吸附于机床主轴上，对工件表面进行平整加工；步骤130：透明薄膜涂覆；将透明薄膜涂覆于工件的待加工表面；步骤140：薄膜平整加工；利用车/铣刀对薄膜表面进行平整加工，然后再用车/铣刀在平整后的表面上车/铣削一环形平面，并将此时车/铣刀刀尖Z坐标设为基准点Z1；步骤150：膜厚检测；利用薄膜在线测量设备测量薄膜的环形平面涂层厚度，并记录厚度T；步骤160：微纳加工；根据厚度T，将车/铣刀的基准点设为Z0，且Z0＝Z1‑T，当加工深度为D的微细特征时，只需将车/铣刀进给D，即可完成几何尺寸微纳加工；步骤170：薄膜去除：把加工好的工件放置于有机溶剂中溶解，清洗、干燥后得到表面具有微结构阵列的加工工件。
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