[发明专利]光罩遮挡门及光罩储存装置

摘要

本发明提供一种光罩遮挡门，包括第一遮板和第二遮板，第一遮板和第二遮板设置于光罩柜开口的一侧侧面，用于遮挡光罩柜中的相邻的第一光罩和第二光罩的存放位置，从光罩柜中取出第一光罩的方向为第一方向，在第一方向上，第一遮板和第二遮板包括至少部分重合的区域，且第一遮板和第二遮板沿光罩柜开口的侧面交错布置，第一遮板和第二遮板滑动连接，当需要存取第一光罩时，第一遮板向第二遮板的方向移动，当需要存取第二光罩时，第二遮板向第一遮板的方向移动。通过上述设置，使得光罩遮挡门可以打开局部的第一遮板或第二遮板，减小了光罩柜暴露于周围环境中的空间，降低了灰尘颗粒物进入光罩柜内沉积的风险。本发明还提供了一种光罩储存装置。

主权项

1.一种光罩遮挡门，其特征在于，包括第一遮板和第二遮板，所述第一遮板和所述第二遮板设置于光罩柜开口的一侧侧面，用于遮挡所述光罩柜中的相邻的第一光罩和第二光罩的存放位置，从所述光罩柜中取出所述第一光罩的方向为第一方向，在所述第一方向上，所述第一遮板和所述第二遮板包括至少部分重合的区域，且所述第一遮板和所述第二遮板沿所述光罩柜开口的侧面交错布置，所述第一遮板和所述第二遮板滑动连接，当需要存取所述第一光罩时，所述第一遮板向所述第二遮板的方向移动，当需要存取所述第二光罩时，所述第二遮板向所述第一遮板的方向移动；还包括驱动机构，所述驱动机构包括第一驱动件、升降轴、第二驱动件和伸缩件，所述升降轴与所述第一驱动件连接，所述伸缩件设置于所述升降轴上，所述第二驱动件与所述伸缩件连接，所述升降轴在所述第一驱动件的驱动作用下在所述第一遮板的移动方向上作升降运动，所述伸缩件在所述第二驱动件的作用下伸出，用于与所述第一遮板或所述第二遮板连接，以带动所述第一遮板或所述第二遮板移动。