[发明专利]一种气体在线检测装置和方法在审
| 申请号： | 201810168163.9 | 申请日： | 2018-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN108398500A | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 张杰;涂维峰;李鹏;韩一帆 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/06 |
| 代理公司： | 北京康盛知识产权代理有限公司 11331 | 代理人： | 涂凤霞 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气体在线检测装置及方法。所述气体在线检测装置用于在线检测反应器内预定气体的种类和/或浓度，其包括通过管路连接的反应器、循环泵、检测单元、气体供给单元和抽真空单元，其中，检测单元用于检测预定气体的种类和/或浓度，检测单元、反应器和循环泵依次连接并形成气体循环回路；抽真空单元用于在反应之前对气体循环回路进行抽真空处理；气体供给单元用于向气体循环回路提供气体。所述气体在线检测方法采用上述的气体在线检测装置对反应器内的预定气体进行检测。本发明具有成本低、可快速检测且对反应过程影响极小等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 在线检测装置 反应器 气体循环回路 预定气体 检测 气体供给单元 抽真空单元 在线检测 循环泵 抽真空处理 管路连接 快速检测 依次连接 | ||
【主权项】：
1.一种气体在线检测装置，其特征在于，所述气体在线检测装置用于在线检测反应器内预定气体的种类和/或浓度，所述气体在线检测装置包括通过管路连接的反应器、循环泵、检测单元、气体供给单元和抽真空单元，其中，检测单元，用于检测预定气体的种类和/或浓度，并且，检测单元、反应器和循环泵依次连接并形成气体循环回路；抽真空单元，用于在反应之前对所述气体循环回路进行抽真空处理；气体供给单元，用于向所述气体循环回路提供反应气体和/或保护气体。
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