[发明专利]微机电系统(MEMS)可变电容器装置及相关方法有效
| 申请号： | 201810168509.5 | 申请日： | 2013-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN108281286B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 亚瑟·S·莫里斯;达娜·德雷乌斯;诺里托·巴伊坦 | 申请（专利权）人： | 维斯普瑞公司 |
| 主分类号： | H01G5/16 | 分类号： | H01G5/16 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;邓玉婷 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于微机电系统(MEMS)可调电容器的系统，设备和方法，所述电容器包括附着到基底的固定驱动电极，附着到所述基底的固定电容电极；以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极移动的活动部件。所述活动部件包括：定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极和定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极。所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开，以及所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 mems 可变电容器 装置 相关 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统可变电容器，包括：附着到基底的固定驱动电极；附着到所述基底的固定电容电极；以及定位在所述基底上方并相对于所述固定驱动电极和所述固定电容电极能在“打开”状态和“闭合”状态之间移动的活动部件，在所述“打开”状态下所述活动部件与基底间隔开，在所述“闭合”状态下所述活动部件向基底移动，所述活动部件包括：定位在所述固定驱动电极上方的可动驱动电极；定位在所述固定电容电极上方的可动电容电极；以及其中，当所述活动部件处于所述“打开”状态时，所述可动电容电极的至少一部分以第一间隙与所述固定电容电极间隔开；其中，当所述活动部件处于所述“打开”状态时，所述可动驱动电极以大于所述第一间隙的第二间隙与所述固定驱动电极间隔开；以及其中，所述第一间隙和所述第二间隙的尺寸之间的差小于或者等于所述第二间隙的尺寸的四分之一。
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