[发明专利]一种等离子体中负离子密度测量系统和方法

摘要

本发明公开了一种等离子体中负离子密度测量系统和方法，系统包括真空室；所述真空室底板或所述真空室盖板通过直线驱动部件密封连接有陶瓷杆，所述陶瓷杆内设有微波探针；第一石英玻璃窗或第二石英玻璃窗的外侧设有激光器，激光器发射出的激光能够透过第一石英玻璃窗和第二石英玻璃窗并与微波探针的探针尖相交，激光器发射出的激光能够对穿透区域内的负离子进行全剥离。方法包括S1：向真空室内通入电负性工作气体，并使电负性工作气体产生电负性等离子体；S2：开启网络分析仪，测量电负性等离子体中的电子密度ne0；S3：打开激光器，测量电子密度ne1；电负性等离子体中的负离子密度n‑即为ne1‑ne0。本发明能够实现准确测量等离子体中的负离子密度。

主权项

1.一种等离子体中负离子密度测量系统，其特征在于：包括真空室底板、真空室盖板、第一石英玻璃窗和第二石英玻璃窗，所述真空室底板、所述真空室盖板、所述第一石英玻璃窗和所述第二石英玻璃窗密封连接构成真空室；所述真空室底板或所述真空室盖板上设有中空法兰，所述中空法兰密封连接有直线驱动部件，所述直线驱动部件的尾端密封连接有陶瓷杆，所述陶瓷杆内设有微波探针，所述微波探针的一端位于所述真空室内，所述微波探针的另一端与网络分析仪电连接；所述第一石英玻璃窗或第二石英玻璃窗的外侧设有激光器，所述激光器发射出的激光能够透过所述第一石英玻璃窗和第二石英玻璃窗并与所述微波探针的探针尖相交，所述激光器发射出的激光能够对穿透区域内的负离子进行全剥离。