[发明专利]一种等离激元多谐振机制增强的可调超光谱探测芯片在审
| 申请号： | 201810171259.0 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108507678A | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 张彤;苏丹;熊梦;单锋;张晓阳 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01J3/447 | 分类号： | G01J3/447;H01L27/146 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210033 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离激元多谐振机制增强的可调超光谱探测芯片，该探测芯片由阵列化的金属纳米钉谐振腔探测单元所组成，每个探测单元(1)包括：底电极(2)、半导体材料层(3)、间隔层(4)、纳米钉阵列(5)、调控材料层(6)、顶电极(7)、外围调控信号(8)及驱动电路(9)；其位置关系由上至下依次为顶电极(7)、调控材料层(6)、纳米钉阵列(5)、间隔层(4)、半导体材料层(3)、底电极(2)，其中，纳米钉阵列(5)填充于调控材料层(6)内部，外围调控信号(8)及驱动电路(9)与调控材料层(6)两侧连接。实现探测器材料的量子效率显著提升，光谱分辨率优于1纳米，实现突破半导体截止波长的光探测。 | ||
| 搜索关键词： | 材料层 探测芯片 纳米钉 半导体材料层 调控 谐振 等离激元 调控信号 驱动电路 探测单元 超光谱 底电极 顶电极 间隔层 可调 外围 光谱分辨率 探测器材料 截止波长 金属纳米 量子效率 光探测 谐振腔 阵列化 填充 半导体 | ||
【主权项】：
1.一种等离激元多谐振机制增强的可调超光谱探测芯片，其特征在于该探测芯片由阵列化的金属纳米钉谐振腔探测单元所组成，每个探测单元(1)包括：底电极(2)、半导体材料层(3)、间隔层(4)、纳米钉阵列(5)、调控材料层(6)、顶电极(7)、外围调控信号(8)及驱动电路(9)；其位置关系由上至下依次为顶电极(7)、调控材料层(6)、纳米钉阵列(5)、间隔层(4)、半导体材料层(3)、底电极(2)，其中，纳米钉阵列(5)填充于调控材料层(6)内部，外围调控信号(8)及驱动电路(9)与调控材料层(6)两侧连接。
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