[发明专利]一种基于硅纳米片的激光脉冲调制器及其制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 201810171383.7 申请日: 2018-03-01
公开(公告)号: CN108199254A 公开(公告)日: 2018-06-22
发明(设计)人: 王正平;张芳;王梦霞;许心光 申请(专利权)人: 山东大学
主分类号: H01S3/11 分类号: H01S3/11;H01S3/081;H01S3/091;H01S3/0941;H01S3/16
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 杨树云
地址: 250199 山*** 国省代码: 山东;37
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及一种基于硅纳米片的激光脉冲调制器及其制备方法与应用,硅纳米片激光脉冲调制器由硅晶体制得,包括衬底和沉积在衬底上面的硅纳米片材料。将硅纳米片激光脉冲调制器插入连续或长脉冲运转的激光谐振腔内,可以实现短脉冲激光输出。本发明硅纳米片激光脉冲调制器,具有以下优势:(1)硅纳米片材料具有对波长不敏感的特性,可实现对可见到红外波段激光的调制。(2)硅纳米片可由黏土制得,原料丰富,价格低廉,制作工艺简单,适于批量生产。(3)便于集成:可用成熟的工艺在衬底上制备成薄膜,实现从材料到器件的一体化设计和集成。
搜索关键词: 硅纳米 激光脉冲 调制器 衬底 制备 片材料 红外波段激光 短脉冲激光 激光谐振腔 一体化设计 制作工艺 不敏感 长脉冲 波长 硅晶 可用 黏土 薄膜 沉积 调制 应用 输出 运转 成熟 生产
【主权项】:
1.一种基于硅纳米片的激光脉冲调制器,其特征在于,包括衬底及沉积在所述衬底上面的硅纳米片材料。
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