[发明专利]高储能密度的钛酸铋钠基电介质薄膜及其制备方法和应用有效

专利信息
申请号: 201810171649.8 申请日: 2018-03-01
公开(公告)号: CN108395245B 公开(公告)日: 2021-10-08
发明(设计)人: 翟继卫;陈盼;沈波 申请(专利权)人: 同济大学
主分类号: C04B35/475 分类号: C04B35/475;C04B35/622;H01G4/12
代理公司: 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 代理人: 陈亮
地址: 200092 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明涉及高储能密度的钛酸铋钠基电介质薄膜及其制备方法和应用,组成为Bi0.5(Na0.8K0.2)0.5TiO3‑xSrZrO3,其制备方法为溶胶凝胶法,按照化学计量比配置前驱体溶液,随后滴至洗净的Pt/Ti/SiO2/Si基片上旋转涂覆,依次经过150℃‑350℃‑700℃热处理,重复上述旋转镀膜以及热处理工艺,直至膜厚达到500~600nm,并且还可以在薄膜上使用溅射工艺制备金属上电极。与现有技术相比,本发明制备的高储能密度薄膜电容器具有优异的储能性能,其储能密度为25J/cm3,储能效率为79.16%,温度稳定性良好。
搜索关键词: 高储能 密度 钛酸铋钠基 电介质 薄膜 及其 制备 方法 应用
【主权项】:
1.高储能密度的钛酸铋钠基电介质薄膜,其特征在于,该电介质薄膜的化学组成为Bi0.5(Na0.8K0.2)0.5TiO3‑xSrZrO3,其中x=0~0.20,且不为0,x为摩尔份量。
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