[发明专利]X射线相干测量装置及测量方法有效
| 申请号： | 201810172034.7 | 申请日： | 2018-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN108663702B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 李宾;兰太和;张文艳;李卓;王月;冯冽;王兴涛;刘波;蒋志强;陈家华;王东;李钦明;张未卿 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海应用物理研究所 |
| 主分类号： | G01T1/00 | 分类号： | G01T1/00 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 201800 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种X射线相干测量装置包括：X射线分光单元；X射线合束单元；以及X射线延时扫描单元，设于X射线分光单元和X射线合束单元之间，包括相对于中轴线彼此对称设置的第一对传输反射镜以及相对于中轴线彼此对称设置的第二对传输反射镜；第一对传输反射镜分别固定在两个滑轨上；两个滑轨的滑轨方向近似垂直于中轴线；第二对传输反射镜一起固定在一维平移台上；一维平移台的平移方向平行于中轴线。本发明还提供了该X射线相干测量装置的两种测量方法。本发明的X射线相干测量装置适用波段从极紫外XUV、软X射线至硬X射线，可在时域里直接测量软X射线自由电子激光、硬X射线自由电子激光以及强场激光诱导的阿秒脉冲的时间相干长度。 | ||
| 搜索关键词： | 射线 相干 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种X射线相干测量装置，位于一光学平台上，其特征在于，包括：X射线分光单元，用于接收X射线脉冲，其具有分束点(A)；X射线合束单元，用于产生X射线干涉信号，其具有与分束点相对于一中轴线(C)共轭的合束点(B)；以及X射线延时扫描单元，设于X射线分光单元和X射线合束单元之间，包括延时精调传输单元和延时粗调传输单元；所述延时精调传输单元包括相对于中轴线(C)彼此对称设置的第一传输反射镜(3)和第二传输反射镜(4)；所述第一传输反射镜(3)和第二传输反射镜(4)分别固定在两个滑轨(7、8)的滑动端上；所述两个滑轨(7、8)的固定端固定在光学平台上，它们的滑轨方向近似直于所述中轴线(C)；所述延时粗调传输单元包括相对于中轴线(C)彼此对称设置的第三传输反射镜(5)和第四传输反射镜(6)；所述第三传输反射镜(5)和所述第四传输反射镜(6)一起固定在一一维平移台(9)上；所述一维平移台(9)安装在光学平台上，其平移方向平行于所述中轴线(C)。
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