[发明专利]一种可压缩回复的氮化硅气凝胶及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201810172223.4 申请日: 2018-03-01
公开(公告)号: CN108328586B 公开(公告)日: 2021-01-19
发明(设计)人: 王红洁;苏磊;李明主;牛敏;彭康 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: C01B21/068 分类号: C01B21/068
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 徐文权
地址: 710049 陕*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 发明公开了一种可压缩回复的氮化硅气凝胶及其制备方法,这种气凝胶由大量的氮化硅纳米带自组装而成,具有超低密度(1.8mg/cm3)、超低介电常数、介电损耗和可压缩回复性能。其制备过程如下:先以甲基三甲氧基硅烷和二甲基二甲氧基硅烷为原料通过水解反应制备得到硅氧烷干凝胶,再以该硅氧烷干凝胶为原料,放入石墨坩埚中,并在石墨坩埚上方放置一个柱形石墨基底,然后于N2气氛下,于1450‑1650℃,保温处理1~4h并随炉冷却,即可在石墨基底上生长出Si3N4气凝胶。采用本方法可以实现氮化硅气凝胶的一步制备,工艺简单,易于实现工业化生产。
搜索关键词: 一种 可压缩 回复 氮化 凝胶 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种可压缩回复的氮化硅气凝胶,其特征在于,该氮化硅气凝胶是由氮化硅纳米带在气流作用下经自组装形成;其组成相为α‑Si3N4,密度为1.8mg/cm3。
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