[发明专利]流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质有效
| 申请号： | 201810174449.8 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN108536180B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 松浦和宏;山口正男;长井健太郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社堀场STEC |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质。流体控制装置包括：流量测量部，测量流过流道内的流体的流量；流体控制阀，设置在流道上；开度操作量输出部，将基于预先设定的设定流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号，在测量流量稳定的稳定状态和因设定流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下，以针对偏差的开度操作量的变化在过渡状态下比在稳定状态下变缓的方式，设定控制系数，在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前，开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 控制 装置 程序 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种流体控制装置，其特征在于，所述流体控制装置包括：流量测量部，测量在流道内流动的流体的流量；流体控制阀，设置在所述流道上；以及开度操作量输出部，将基于预先设定的设定流量与所述流量测量部的测量流量的偏差和预先设定的控制系数得到的所述流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号，在所述测量流量稳定的稳定状态和因所述设定流量的变化而使所述测量流量变化的过渡状态下，以针对所述偏差的所述开度操作量的变化在所述过渡状态下比在所述稳定状态下变缓的方式设定所述控制系数，在从所述稳定状态切换为所述过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前，所述开度操作量输出部将根据在所述稳定状态下的多个时点输出的各个所述开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。
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