[发明专利]一种半导体激光器结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201810176096.5 | 申请日： | 2018-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN110224300B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 任夫洋;苏建;陈康;刘青;郑兆河;徐现刚 | 申请（专利权）人： | 山东华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/22 | 分类号： | H01S5/22;H01S5/32 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 陈桂玲 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体激光器结构及其制备方法。所述半导体激光器结构包括由下至上依次设置的N‑金属层、N‑电流阻挡层、衬底、外延材料层、P‑电流阻挡层及P‑金属层；所述衬底下表面有设置有周期性排列孔洞和N‑电流阻挡层。本发明在衬底减薄后设置孔洞及电流阻挡层，释放外延片内部应力，N面焊接封装时增大与焊料接触面积，键合牢固，缓冲热应力，同时限制电流注入区域，提高光电转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体激光器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体激光器结构，包括由下至上依次设置的N‑金属层、N‑电流阻挡层、衬底、外延材料层、P‑电流阻挡层及P‑金属层；其中，所述外延材料层上有周期性设置的脊条、位于脊条两侧的沟槽和位于沟槽外侧的肩部；形成带肩脊条结构；在所述的脊条、沟槽和肩部的表面设置有P‑电流阻挡层；所述P‑电流阻挡层在脊条位置设有窗口1，且窗口1宽度小于脊条宽度；形成P面；在衬底下表面对应于P面的肩部区域上有周期性设置的孔洞或沟道；所述衬底下表面设置有N‑电流阻挡层；所述N‑电流阻挡层在对应于所述脊条位置设有窗口2，窗口2位置及宽度与所述窗口1相同。
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