[发明专利]一种用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备及方法

摘要

本发明公开了一种用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备，包括工件进给装置和轴套轴传动进给装置，所述工件进给装置包括夹具以及带动所述夹具沿横向、纵向运动的驱动装置，待加工单晶金刚石夹持在所述夹具上；所述轴套轴传动进给装置包括箱体、微型砂轮以及设置在箱体内的行星齿轮传动系统。本发明还公开了一种利用如上所述的用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备磨削单晶金刚石微刀刃的方法，该方法通过激光定位装置确定晶面的易磨方向，并将检测到的信息实时传输至控制系统，由所述控制系统控制工件进给装置和轴套轴传动进给装置的动作，实现对微刀刃的磨削。利用本发明能够实现对单晶金刚石刀具微刀刃的微纳米级别的超精密磨削。

主权项

1.一种用于磨削单晶金刚石微刀刃的微型设备，其特征在于，包括工件进给装置和轴套轴传动进给装置，所述工件进给装置包括夹具以及带动所述夹具沿横向、纵向运动的驱动装置，待加工单晶金刚石夹持在所述夹具上；所述轴套轴传动进给装置包括箱体、微型砂轮以及设置在箱体内的行星齿轮传动系统，所述行星齿轮传动系统包括主轴、太阳轮轴、行星轮轴、刀具轴、中部太阳轮、行星轮、固定内齿轮、主轴末端太阳轮、刀具轴齿轮和联轴器；所述微型砂轮设置在刀具轴的末端并随刀具轴同步转动，太阳轮轴套置在主轴上，中部太阳轮套置在太阳轮轴上，行星轮套置在行星轮轴上，太阳轮轴与行星轮轴相连；所述轴套轴传动进给装置还包括用于带动主轴旋转的传动机构，主轴旋转时带动太阳轮轴旋转，太阳轮轴旋转时同步带动行星轮轴旋转，行星轮的内侧与中部太阳轮相互啮合，中部太阳轮沿太阳轮轴的轴线旋转，行星轮绕太阳轮轴的轴线公转并绕行星轮轴的轴线自转，行星轮的外侧与固定内齿轮相互啮合；刀具轴通过联轴器与行星轮轴相连，刀具轴齿轮套置在刀具轴上，主轴末端太阳轮设置在主轴的末端，刀具轴齿轮与主轴末端太阳轮相互啮合；当联轴器连接时，刀具轴由行星轮轴带动旋转，微型砂轮对待加工单晶金刚石刀具的微刀刃进行圆周刃磨；当联轴器断开时，主轴旋转带动主轴末端太阳轮旋转，主轴末端太阳轮通过刀具轴齿轮的啮合传动带动刀具轴转动，微型砂轮对待加工单晶金刚石刀具的微刀刃进行定点悬停刃磨。